[发明专利]一种薄壁复杂结构单晶金刚石惯导器件的超精密加工方法

权利要求书

1.一种薄壁复杂结构单晶金刚石惯导器件的超精密加工方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一，单晶金刚石惯导器件毛坯双面抛光：应用双面抛光机对器件基体进行双面抛光，抛光时，滴加抛光液A，得到单晶金刚石惯导器件基体；

步骤二，五轴联动皮秒和飞秒激光复合加工单晶金刚石惯导器件形貌结构：采用五轴联动皮秒激光在抛光后的单晶金刚石惯导器件基体上刻蚀出单晶金刚石惯导器件的形貌结构，并通过飞秒激光做进一步的修形；

步骤三，惯导器件整体浸入抛光液B中进行化学机械抛光：将刻蚀好的单晶金刚石惯导器件整体浸入抛光液B中，结合超声、加热和电磁方式对其进行化学机械抛光；

步骤四，清洗封装：将抛光好的单晶金刚石惯导器件放入丙酮或酒精中进行超声清洗，然后吹干，并用真空袋封装保存。

2.根据权利要求 1所述的一种薄壁复杂结构单晶金刚石惯导器件的超精密加工方法，其特征在于，所述步骤一中的抛光液A包括磨粒和化学辅助试剂，磨粒为氧化锆、金刚石或碳化硼中的一种或两种，粒径大小为1-5μm，含量为80-120g/L；化学辅助试剂包括：氯酸、过硫酸钠、双氧水中的一种或两种以上混合，含量为30-80g/L；熊果酸、乳酸中的一种或两种混合，含量为60-120g/L；其余为去离子水。

3.根据权利要求 1或2所述的一种薄壁复杂结构单晶金刚石惯导器件的超精密加工方法，其特征在于，所述步骤三 中的抛光液B包括磨粒和化学辅助试剂，磨粒为铁、钴、镍、氧化铈、碳化硅中的一种、两种或三种，粒径大小为50-150μm，含量为500-700g/L；化学辅助试剂包括：碘酒、双氧水中的一种或两种混合，含量为40-60g/L，草酸、单宁酸、乳酸中的一种或两种以上混合，含量为80-130g/L；其余为去离子水、煤油、水基乳化液中的一种或两种以上混合。