[发明专利]单类和多类微小物体漂浮定向移动及自主装巨量转移方法有效

专利信息
申请号: 202010158066.9 申请日: 2020-03-09
公开(公告)号: CN111415896B 公开(公告)日: 2022-11-15
发明(设计)人: 杨冠南;林伟;崔成强;张昱 申请(专利权)人: 广东工业大学
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/68
代理公司: 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 代理人: 戴涛
地址: 510060 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 微小 物体 漂浮 定向 移动 自主 巨量 转移 方法
【权利要求书】:

1.单类微小物体漂浮定向移动及自主装巨量转移方法,其特征在于:包括以下步骤:

S1.将待转移的微小物体进行表面处理后,放入具有表面活性剂和粘度调节剂的溶液A中,微小物体的表面不与溶液A发生浸润,微小物体密度低于溶液A;

S2.对目标载板进行图案化处理和表面处理,使其目标位置产生图案,且图案表面对溶液A不发生浸润但对微小物体表面发生浸润,目标载板上除所述图案之外的表面对溶液A发生浸润但对微小物体表面不发生浸润;

S3.在溶液A中通入气体A,气体A在溶液A中产生气泡,同时进行超声处理,使气泡碎成若干个临界尺寸气泡,每个临界尺寸气泡吸附并携带一个微小物体漂浮在溶液A液面上;

S4.将目标载板竖直或倾斜缓慢浸入溶液A内,在浸入的过程中图案与溶液A界面之间产生凹窝,使得临界尺寸气泡携带的微小物体滑入凹窝处,粘结于图案上;

S5.随着目标载板投入溶液A中,微小物体完全粘结于图案上;

S6.将目标载板移出溶液A,并进行冲洗,烘干去除目标载板表面残余溶液。

2.根据权利要求1所述的单类微小物体漂浮定向移动及自主装巨量转移方法,其特征在于:在步骤S1中,在微小物体的表面涂覆溶液B,溶液B与微小物体发生浸润但不与溶液A发生浸润,溶液B为油脂大分子有机物或硅烷偶联剂。

3.根据权利要求2所述的单类微小物体漂浮定向移动及自主装巨量转移方法,其特征在于:在步骤S2中,通过机械加工或化学刻蚀在目标载板表面的目标位置产生图案,在图案表面以及目标载板上除图案之外的表面分别涂覆表面活性剂A和表面活性剂B,图案大小与微小物体的尺寸相匹配。

4.根据权利要求3所述的单类微小物体漂浮定向移动及自主装巨量转移方法,其特征在于:所述图案为图案化凸起或图案化凹槽或平面图案。

5.根据权利要求3所述的单类微小物体漂浮定向移动及自主装巨量转移方法,其特征在于:在步骤S2中,目标载板由两层载板叠加而成,第一层表面涂覆表面活性剂B,在第一层载板的目标位置打出大小与微小物体的尺寸相匹配的通孔,在第二层载板的表面涂覆表面活性剂A,然后将第一层载板压合在第二层载板上。

6.根据权利要求1所述的单类微小物体漂浮定向移动及自主装巨量转移方法,其特征在于:在步骤S3中,降低溶液A的温度再溶入气体A,再通过升温或振动,使气体A从溶液A中析出形成气泡,利用超声处理分散微小物体,并使气泡破裂成若干临界尺寸的气泡,使得单个临界尺寸的气泡包裹着单个微小物体在溶液A液面上漂浮移动。

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