[发明专利]单类和多类微小物体漂浮定向移动及自主装巨量转移方法有效
申请号: | 202010158066.9 | 申请日: | 2020-03-09 |
公开(公告)号: | CN111415896B | 公开(公告)日: | 2022-11-15 |
发明(设计)人: | 杨冠南;林伟;崔成强;张昱 | 申请(专利权)人: | 广东工业大学 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/68 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 戴涛 |
地址: | 510060 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 微小 物体 漂浮 定向 移动 自主 巨量 转移 方法 | ||
1.单类微小物体漂浮定向移动及自主装巨量转移方法,其特征在于:包括以下步骤:
S1.将待转移的微小物体进行表面处理后,放入具有表面活性剂和粘度调节剂的溶液A中,微小物体的表面不与溶液A发生浸润,微小物体密度低于溶液A;
S2.对目标载板进行图案化处理和表面处理,使其目标位置产生图案,且图案表面对溶液A不发生浸润但对微小物体表面发生浸润,目标载板上除所述图案之外的表面对溶液A发生浸润但对微小物体表面不发生浸润;
S3.在溶液A中通入气体A,气体A在溶液A中产生气泡,同时进行超声处理,使气泡碎成若干个临界尺寸气泡,每个临界尺寸气泡吸附并携带一个微小物体漂浮在溶液A液面上;
S4.将目标载板竖直或倾斜缓慢浸入溶液A内,在浸入的过程中图案与溶液A界面之间产生凹窝,使得临界尺寸气泡携带的微小物体滑入凹窝处,粘结于图案上;
S5.随着目标载板投入溶液A中,微小物体完全粘结于图案上;
S6.将目标载板移出溶液A,并进行冲洗,烘干去除目标载板表面残余溶液。
2.根据权利要求1所述的单类微小物体漂浮定向移动及自主装巨量转移方法,其特征在于:在步骤S1中,在微小物体的表面涂覆溶液B,溶液B与微小物体发生浸润但不与溶液A发生浸润,溶液B为油脂大分子有机物或硅烷偶联剂。
3.根据权利要求2所述的单类微小物体漂浮定向移动及自主装巨量转移方法,其特征在于:在步骤S2中,通过机械加工或化学刻蚀在目标载板表面的目标位置产生图案,在图案表面以及目标载板上除图案之外的表面分别涂覆表面活性剂A和表面活性剂B,图案大小与微小物体的尺寸相匹配。
4.根据权利要求3所述的单类微小物体漂浮定向移动及自主装巨量转移方法,其特征在于:所述图案为图案化凸起或图案化凹槽或平面图案。
5.根据权利要求3所述的单类微小物体漂浮定向移动及自主装巨量转移方法,其特征在于:在步骤S2中,目标载板由两层载板叠加而成,第一层表面涂覆表面活性剂B,在第一层载板的目标位置打出大小与微小物体的尺寸相匹配的通孔,在第二层载板的表面涂覆表面活性剂A,然后将第一层载板压合在第二层载板上。
6.根据权利要求1所述的单类微小物体漂浮定向移动及自主装巨量转移方法,其特征在于:在步骤S3中,降低溶液A的温度再溶入气体A,再通过升温或振动,使气体A从溶液A中析出形成气泡,利用超声处理分散微小物体,并使气泡破裂成若干临界尺寸的气泡,使得单个临界尺寸的气泡包裹着单个微小物体在溶液A液面上漂浮移动。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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