[发明专利]大口径光学元件清洗装置及大口径光学元件的清洗方法

说明书

本申请公开一种大口径光学元件清洗装置及大口径光学元件的清洗方法。大口径光学元件清洗装置，包括夹持机构、翻转架、翻转驱动部和竖向旋转部。夹持机构用于夹持光学元件，夹持机构可转动地设于翻转架上，翻转驱动部设于翻转架且驱动夹持机构转动，以使得光学元件相对于水平面发生翻转。竖向旋转部与翻转架配合，以使得翻转架可绕竖直方向转动。本申请提供的技术方案能够高效、便捷、安全地实现大口径光学元件的全口径人工擦洗。

技术领域

本申请涉及光学元件清洗技术领域，具体而言，涉及一种大口径光学元件清洗装置及大口径光学元件的清洗方法。

背景技术

在强光光学元件镀膜领域，缺陷是影响光学元件抗激光损伤阈值的关键因素之一，因此抑制光学元件缺陷的产生至关重要。

针对薄膜光学元件，缺陷的来源与元件清洗质量密切相关。大型激光装置应用的大口径光学元件，其清洗主要有超声清洗和人工擦洗等方法。在人工擦洗过程中，由于部分元件口径与重量均较大或元件较薄，翻转或擦洗十分困难，影响擦洗效率、擦洗质量，并存在倾倒的安全隐患。因此，有必要针对大口径光学元件研发出一种便于人工擦洗的装置和方法。

发明内容

本申请提供了一种大口径光学元件清洗装置以及大口径光学元件的清洗方法，以便于高效、便捷、安全地实现大口径光学元件的全口径人工擦洗。

第一方面，本申请提供了一种大口径光学元件清洗装置，包括夹持机构、翻转架、翻转驱动部和竖向旋转部。夹持机构用于夹持光学元件，夹持机构可转动地设于翻转架上，翻转驱动部设于翻转架且驱动夹持机构转动，以使得光学元件相对于水平面发生翻转。竖向旋转部与翻转架配合，以使得翻转架可绕竖直方向转动。

上述方案中，提供了一种便于人工擦洗光学元件的清洗装置。首先将光学元件夹持于夹持机构上，通过翻转驱动部的驱动与翻转架以竖直方向为转动轴线的旋转，使得夹持机构可实现双轴向旋转，清洗人员能够在不变换擦洗位置的前提下便捷地对光学元件的全口径擦洗。同时，由于夹持机构的稳定夹持，避免了元件倾倒等安全事故的发生。

可选地，在一种可能的实现方式中，夹持机构包括框架、两个上层夹持组件以及两个下层夹持组件；

两个上层夹持组件相对设于框架的壁面，两个下层夹持组件相对设于框架的壁面；

同一侧的上层夹持组件和下层夹持组件自上而下依次分布。

上述方案中，提供了夹持机构的一种具体结构，通过上层夹持组件和下层夹持组件能够稳定地夹持光学元件，且配合翻转动作，能够实现光学元件的拆装镀膜工装的动作。

可选地，在一种可能的实现方式中，上层夹持组件包括上层驱动组件、上层滑块以及上层卡爪；

上层驱动组件设于框架且驱动上层滑块滑动，上层卡爪设于上层滑块的端面；

下层夹持组件包括下层驱动组件、下层滑块以及下层卡爪；

下层驱动组件设于框架且驱动下层滑块滑动，下层卡爪设于下层滑块的端面。

可选地，在一种可能的实现方式中，上层驱动组件包括上层手轮、上层丝杆以及上层滑杆；

上层滑块可滑动地设于上层滑杆，上层丝杆的一端与上层手轮传动连接，上层丝杆与框架螺纹配合且其另一端连接上层滑块；

下层驱动组件包括下层手轮、下层丝杆以及下层滑杆；

下层滑块可滑动地设于下层滑杆，下层丝杆的一端与下层手轮传动连接，下层丝杆与框架螺纹配合且其另一端连接下层滑块。

可选地，在一种可能的实现方式中，上层驱动组件还包括上层电磁抱闸，上层电磁抱闸设于上层手轮和上层丝杆之间；

下层驱动组件还包括下层电磁抱闸，下层电磁抱闸设于下层手轮和下层丝杆之间。