[发明专利]传感器

说明书

根据一个实施方式，涉及的传感器包括基体、第1可动构造体以及第1固定构造体。所述第1可动构造体包括多个第1可动电极。多个第1可动电极与基体之间的沿着第1方向的距离可变，所述第1方向是从基体朝向多个第1可动电极的方向。从多个第1可动电极中的一个朝向多个第1可动电极中的另一个的方向沿着与第1方向交叉的第2方向。所述第1固定构造体包括多个第1固定电极。多个第1固定电极中的一个位于多个第1可动电极中的所述一个与多个第1可动电极中的所述另一个之间。多个第1可动电极中的所述一个的沿着第1方向的第1可动电极长度比多个第1固定电极中的所述一个的沿着第1方向的第1固定电极长度短。由此，提供具有高检测能力的传感器。

本申请以日本专利申请2019-155985(申请日2019年8月28日)为基础，根据该申请享受优先权。本申请通过参照该申请而包含该申请的全部内容。

技术领域

本发明的实施方式涉及传感器(sensor)。

背景技术

例如存在利用MEMS(微机电系统)构造的传感器。关于传感器，希望其检测能力高。

发明内容

实施方式提供具有高检测能力的传感器。

根据实施方式，传感器包括基体、第1可动构造体以及第1固定构造体。所述可动构造体包括多个第1可动电极。所述多个第1可动电极与所述基体之间的沿着第1方向的距离可变，所述第1方向是从所述基体朝向所述多个第1可动电极的方向。从所述多个第1可动电极中的一个第1可动电极朝向所述多个第1可动电极中的另一个第1可动电极的方向沿着与所述第1方向交叉的第2方向。所述第1固定构造体包括多个第1固定电极。所述多个第1固定电极中的一个第1固定电极位于所述多个第1可动电极中的所述一个第1可动电极与所述多个第1可动电极中的所述另一个第1可动电极之间。所述多个第1可动电极中的所述一个第1可动电极的沿着所述第1方向的第1可动电极长度比所述多个第1固定电极中的所述一个第1固定电极的沿着所述第1方向的第1固定电极长度短。

根据上述结构的传感器，能够提供具有高检测能力的传感器。

附图说明

图1是例示第1实施方式涉及的传感器的示意图。

图2的(a)～图2的(c)是例示第1实施方式涉及的传感器的示意图。

图3的(a)～图3的(c)是例示第1实施方式涉及的传感器的示意图。

图4是例示第1实施方式涉及的传感器的示意图。

图5的(a)～图5的(f)是例示第1实施方式涉及的传感器中的动作的示意图。

图6是例示第1实施方式涉及的传感器的一部分的示意图。

图7是例示第1实施方式涉及的传感器的示意性的俯视图。

图8是例示第1实施方式涉及的传感器的示意性的俯视图。

图9的(a)～图9的(c)是例示第2实施方式涉及的传感器的示意图。

图10的(a)以及图10的(b)是例示第2实施方式涉及的传感器的示意图。

图11的(a)～图11的(c)是例示第2实施方式涉及的传感器中的动作的示意图。

标号说明