[发明专利]自动化天车防撞系统及方法

说明书

本发明公开了一种自动化天车防撞系统，其包括：行驶轨道；可移动的安装于行驶轨道的天车；光电感应装置，设置在所述轨道下方，用于在所述行驶轨道下方形成保护区域，以及用于在侦测到异物进入保护区域时输出反馈信号；控制系统，连接所述天车以及所述光电感应装置，所述控制系统用于在接收到所述反馈信号时控制相应工作的天车停止移动。其优点是：可以提高天车的使用安全性能，并且灵活性好，可大范围应用可操作性强。

技术领域

本发明涉及半导体集成电路中自动物料搬送系统(AMHS，Automated MaterialHandling System)技术领域，具体涉及一种自动化天车防撞系统及方法。

背景技术

半导体集成电路中的自动物料搬送系统(AMHS，Automated Material HandlingSystem)是用于承载一批批半导体产品，在各操作设备或仓储柜之间进行传送，以此避免了传统人工搬运的效率低下问题，并确保了生产厂房内的洁净，因此自动化物料搬运系统已经成为半导体制造工厂中必要的配备之一。

自动化物料搬运系统中的核心载体是自动化天车(OHT，Overhead HoistTransfer)，天车装置常常被用来搬运放置晶圆的晶圆盒。

自动化天车工作时具有较高的走行速度，例如，CLW08-V2型自动化天车在直道走行过程中的最高速度为300m/min，当自动化天车高速走行时，如果有人或物体突然出现在自动化天车前面时，就会造成人员被撞伤或自动化天车被撞坏风险。

目前采取措施有以下两种方式：

1、在没有机台位置的轨道处安装防护网(在有机台需要移载的位置因为不能影响机台上下货，将不能安装防护网)，可以起到防撞作用，但是到底安装在多高的位置，才可以满足即不影响上方天车在机台上的移栽，又能提供给下方较高的活动区域，难以统一，并且由于防护网较重非常不便于拆装，灵活性较差，大范围应用的可操作性不强；

2、在每条分区(Bay)(工序)轨道的入口处安装限高牌，以提示工作人员注意安全，但只能起到警示作用。

发明内容

基于此，有必要针对上述的自动物料搬送系统中自动化天车易被撞损坏的风险问题，提供一种自动化天车防撞系统及方法，可以提高天车的使用安全性能，并且灵活性好，可大范围应用可操作性强。

为实现上述目的，本发明提供一种自动化天车防撞系统，其特征是，包括：

行驶轨道；

可移动的安装于行驶轨道的天车；

光电感应装置，设置在所述行驶轨道下方，用于在所述行驶轨道下方形成保护区域，以及用于在侦测到异物进入保护区域时输出反馈信号；

控制系统，连接所述天车以及所述光电感应装置，所述控制系统用于在接收到所述反馈信号时控制相应工作的天车停止移动。

在上述的自动化天车防撞系统中，通过在天车行驶轨道下方设置光电感应装置，利用光电感应装置采集信号，侦测是否有异物进入保护范围区域，再在侦测到异物进入时，通过控制系统对天车进行停止移动的控制，可以很好的规避天车被异物撞到的风险，减少可能对登高操作人员、工件或天车本体造成的伤害，并且这种监控方式准确及时，可有效提高天车的使用安全性能，灵活性好，可操作性强，大范围应用前景好。

上述的自动化天车防撞系统，其中，还包括：

无线传输设备，分别连接所述的光电感应装置以及控制系统，用于所述光电感应装置与所述控制系统之间的无线信号传输。

上述的自动化天车防撞系统，其中：

沿所述行驶轨道延伸的方向依次设置多个所述的光电感应装置，以在沿所述行驶轨道延伸的方向上形成多个所述保护区域。

上述的自动化天车防撞系统，其中：