[发明专利]涂敷装置及涂敷方法

说明书

一种涂敷装置及涂敷方法，能够简单且在短时间内适当地涂敷涂敷液。在被涂敷体(10)之上行进的行进构件(23)处设置涂敷用喷嘴(24)，被涂敷体(10)通过在构成为板状的下层部(11)之上设置有构成为比下层部小的板状的上层部(12)的方式形成，在涂敷用喷嘴(24)的前端部具有在与行进方向相交的方向上延伸的狭缝状排出口(24a)，并且，将前端部具有吸管状排出口(25a)的吸管状喷嘴(25)设置成能够在与行进构件的行进方向相交的方向上移动。

技术领域

本发明涉及一种涂敷装置，在该涂敷装置中，在被涂敷体之上沿一定方向往复行进的行进构件处设置有涂敷用喷嘴，在涂敷用喷嘴的前端部具有在与行进构件的行进方向相交的方向上延伸的狭缝状排出口，使该涂敷用喷嘴的所述狭缝状排出口与被涂敷体相向并且通过行进构件使其在被涂敷体之上行进，使涂敷液从所述狭缝状排出口排出至被涂敷体，从而将涂敷液涂敷至被涂敷体。特别地，本发明具有下述特征：能够简单且在短时间内使用所述涂敷装置适当地涂敷涂敷液，以使涂敷液涂敷至被涂敷体的上层部的上表面，并且使涂敷液从上层部与下层部的台阶部处的上层部的端面到达下层部的上表面，其中，上述被涂敷体通过在构成为板状的下层部之上设置有构成为比该下层部小的板状的上层部的方式形成。

背景技术

目前，利用台式涂布机(TABLE COATER，注册商标)等涂敷装置将涂敷液涂敷至由玻璃板等构成的被涂敷体之上。

此处，在上述涂敷装置中，如专利文献1等所示，将由玻璃板等构成的被涂敷体载置于工作台之上，在以上述方式载置的被涂敷体之上沿一定方向往复行进的行进构件处设置有涂敷用喷嘴，在该涂敷用喷嘴的前端部具有在与行进构件的行进方向相交的方向上延伸的狭缝状排出口，使该涂敷用喷嘴升降，从而设置于其前端部的狭缝状排出口与所述被涂敷体相距适当的距离，在该状态下，通过所述行进构件使涂敷用喷嘴在被涂敷体之上行进，从而使涂敷液从在与上述行进方向相交的方向上延伸的狭缝状排出口涂敷至载置于工作台之上的被涂敷体之上。

此外，在专利文献2中示出了一种涂敷装置，为了减小在保持于基板吸附工作台的玻璃基板等被涂敷体的外周部附近产生的涂敷液的隆起，提高涂敷液的膜厚的均匀性，设置有能够在保持于基板吸附工作台的被涂敷体的外周部上移动的稀释剂供给喷嘴，通过该稀释剂供给喷嘴沿着被涂敷体的外周部涂敷粘度低于保护液的粘度的稀释剂，然后，使保护液供给喷嘴在被涂敷体上沿纵向横向或沿圆周方向等移动而供给保护液，从而减小被涂敷体的外周部处的保护液的隆起。

另一方面，近年来，作为被涂敷体，例如，使用以下述方式构成的被涂敷体：采用大小不同的玻璃基板或树脂基板等，并且通过在构成为板状的下层部之上层叠构成为比下层部小的板状的上层部的方式一体化，从而在设置于下层部之上的上层部的周围形成有台阶部，此外，使涂敷液涂敷至上述被涂敷体的上层部的上表面，并且使涂敷液从上层部的周围的上层部与下层部之间的台阶部处的上层部的端面到达下层部的上表面，并且在上层部的上表面以及从所述台阶部的周围的上层部的端面到下层部的上表面这一范围形成涂敷而进行保护。

此处，在使用所述专利文献1所示的涂敷装置如前文所述不仅将涂敷液涂敷至上层部的上表面，还使涂敷液从上层部的周围的、上层部与下层部之间的台阶部处的上层部的端面(侧面)涂敷至下层部的上表面的情况下，可以考虑的是，使设置于所述涂敷用喷嘴的前端部的宽度方向上较长的狭缝状排出口的长度大于所述上层部的上表面的宽度，并且在使所述涂敷用喷嘴在所述上层部之上行进时，使供涂敷用喷嘴行进的长度大于上层部在行进方向上的长度，从而使涂敷液从涂敷用喷嘴的前端部的狭缝状排出口涂敷的面积大于上层部的上表面，进而也将涂敷液供给至上层部的上表面的周围的台阶部。