[发明专利]压电式MEMS麦克风有效

申请号：	202010161564.9	申请日：	2020-03-10
公开（公告）号：	CN111328005B	公开（公告）日：	2021-09-10
发明（设计）人：	段炼;张睿	申请（专利权）人：	瑞声声学科技（深圳）有限公司
主分类号：	H04R17/00	分类号：	H04R17/00;H04R17/02;H04R31/00
代理公司：	广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288	代理人：	齐则琳
地址：	518057 广东省深圳市南山区高***	国省代码：	广东;44
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摘要：
搜索关键词：	压电 mems 麦克风
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【权利要求书】：

1.一种压电式MEMS麦克风，其特征在于，包括具有腔体的基底、压电振膜、支撑梁和固定梁，所述支撑梁连接所述基底和固定梁，所述固定梁连接所述压电振膜，所述压电振膜包括多个膜片，每一膜片均由所述固定梁固定，每一膜片包括固定端和自由端，所述固定端与所述固定梁连接，所述自由端自固定端向两侧延伸并悬置于所述腔体上方。

2.根据权利要求1所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，所述固定梁于所述膜片的中部对所述膜片进行固定。

3.根据权利要求1所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，所述支撑梁设于相邻的膜片之间的缝隙的上侧或者下侧。

4.根据权利要求1所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，每一膜片由压电材料和电极叠设形成，所述电极至少包括两个，每一膜片的最外层设置所述电极；相邻的电极中间由所述压电材料间隔设置。

5.根据权利要求1所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，所述固定梁位于所述压电振膜的上侧对所述压电振膜进行固定。

6.根据权利要求1所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，所述固定梁位于所述压电振膜的下侧对所述压电振膜进行固定。

7.根据权利要求1所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，所述固定梁位于所述压电振膜的上下两侧对所述压电振膜进行固定。

8.根据权利要求1所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，所述固定梁位于所述膜片的对称位置。

9.根据权利要求1所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，所述固定梁位于所述膜片的不对称位置。

10.根据权利要求1所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，每一膜片的宽度自所述固定端朝向所述自由端逐渐增大或者缩小。

11.根据权利要求1所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，每一膜片的形状为由所述固定端朝向所述自由端的无固定规则变化的多边形或者曲形。

12.根据权利要求1所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，相邻的膜片的自由端使用弹性结构件连接。

13.根据权利要求12所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，所述弹性结构件设于相邻的膜片之间的缝隙。