[发明专利]一种用于扫描电镜样品仓的监控传感器

权利要求书

1.一种用于扫描电镜样品仓的监控传感器，其特征在于，包括摄像头模组、用于安装所述摄像头模组的法兰盘、用于所述摄像头模组后端密封的罩盖、以及连接所述摄像头模组的连接线；所述摄像头模组由控制板和固定于所述控制板上的镜头组成，所述镜头用于图像采集，所述控制板用于图像处理、图像控制和通信，所述连接线连接所述控制板输出接口；所述法兰盘固定于样品仓壳体上。

2.根据权利要求1所述的用于扫描电镜样品仓的监控传感器，其特征在于，所述控制板上对称设置有多个红外LED，所述红外LED通过两根控制线外接用于控制其亮灭的控制端。

3.根据权利要求2所述的用于扫描电镜样品仓的监控传感器，其特征在于，所述控制线连接航空插座，所述连接线连接航空插头，所述控制线与所述连接线通过航空插头和航空插座的对接实现连接。

4.根据权利要求1所述的用于扫描电镜样品仓的监控传感器，其特征在于，所述镜头的输出线通过连接线连接USB插头，用于连接计算机。

5.根据权利要求4所述的用于扫描电镜样品仓的监控传感器，其特征在于，所述输出线连接所述航空插座，所述输出线与所述连接线通过航空插头和航空插座的对接实现连接。

6.根据权利要求3或5所述的用于扫描电镜样品仓的监控传感器，其特征在于，所述航空插座固定在所述罩盖上，所述航空插座与所述罩盖之间垫有密封垫。

7.根据权利要求3或5所述的用于扫描电镜样品仓的监控传感器，其特征在于，所述法兰盘、所述罩盖、所述航空插座和所述航空插头均采用高密度不锈钢制成且壁厚较厚，所述航空插座和所述航空插头芯部采用玻璃粉末烧结而成。

8.根据权利要求1所述的用于扫描电镜样品仓的监控传感器，其特征在于，所述镜头采用自动对焦镜头。

9.根据权利要求1所述的用于扫描电镜样品仓的监控传感器，所述法兰盘外侧内嵌有O型密封圈。