[发明专利]划线装置以及控制方法在审
申请号: | 202010162156.5 | 申请日: | 2020-03-10 |
公开(公告)号: | CN111847861A | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 井村淳史 | 申请(专利权)人: | 三星钻石工业股份有限公司 |
主分类号: | C03B33/10 | 分类号: | C03B33/10;C03B33/027;C03B33/037 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 张晶;刘言 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 划线 装置 以及 控制 方法 | ||
1.一种划线装置,其具备:
头部,其安装有在作为加工对象的基板上形成划分线的切割部件;
转动机构,其安装于所述头部,并使所述切割部件转动;
移动机构,其使所述头部相对于所述基板移动;以及
控制装置,其基于转动轴轨迹控制所述移动机构,其中,所述转动轴轨迹表示形成所述划分线时的所述转动机构的转动轴的轨迹,
所述控制装置计算形成所述划分线时的所述切割部件的预定加工轨迹,并在所述预定加工轨迹的基础上对所述头部中的所述切割部件的位置与所述转动轴的偏移量加以考虑而计算所述转动轴轨迹。
2.根据权利要求1所述的划线装置,其特征在于,
所述控制装置基于所述切割部件的旋转角计算为了计算所述转动轴轨迹而在所述预定加工轨迹的基础上加以考虑的偏移量。
3.根据权利要求1或2所述的划线装置,其特征在于,
所述控制装置计算所述预定加工轨迹作为假想坐标中的所述切割部件的轨迹,其中,所述假想坐标至少具有与实际空间的第一方向对应的第一假想轴、和与实际空间的第二方向对应的第二假想轴。
4.一种控制方法,其由划线装置的控制装置进行,所述划线装置具备:头部,其安装有在作为加工对象的基板上形成划分线的切割部件;转动机构,其安装于所述头部,使所述切割部件转动;以及移动机构,其使所述头部相对于所述基板移动,
其中,所述控制方法具备以下步骤:
计算形成所述划分线时的所述切割部件的预定加工轨迹;
在所述预定加工轨迹的基础上对所述头部中的所述切割部件的位置与所述转动机构的转动轴的偏移量加以考虑而计算表示形成所述划分线时的所述转动轴的轨迹的转动轴轨迹;以及
基于所述转动轴轨迹控制所述移动机构。
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