[发明专利]承载头及具有其的抛光装置有效
| 申请号： | 202010162279.9 | 申请日： | 2020-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN111251177B | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 徐俊成;尹影;蒋锡兵;戴豪 | 申请（专利权）人： | 北京烁科精微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;B24B37/005;B24B49/16 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 张艳清 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 承载 具有 抛光 装置 | ||
1.一种承载头，其特征在于，包括：
本体(6)，所述本体(6)为非柔性材质，且所述本体(6)靠近待抛光产品的端部开设有多个凹腔，每个所述凹腔上设有通气孔(12)，所述通气孔(12)适于与气源连接；
柔性膜(13)，固定连接在所述本体(6)的所述端部，适于与所述待抛光产品接触；
所述本体(6)为圆盘结构，所述凹腔为环状结构；
沿径向方向，由所述本体(6)的边缘向所述本体(6)的中心方向，所述凹腔的体积逐渐增大；
至少一个所述凹腔上设有若干凸筋(14)，所述凸筋(14)由所述凹腔的底部向靠近所述柔性膜(13)的方向延伸，且所述凸筋(14)的延伸长度小于所述凹腔的延伸长度。
2.根据权利要求1所述的承载头，其特征在于，所述本体(6)采用金属材质。
3.根据权利要求1所述的承载头，其特征在于，若干个所述凹腔的深度相同，沿所述本体(6)的边缘向所述本体(6)的中心方向，所述凹腔的底面积逐渐增大。
4.根据权利要求1所述的承载头，其特征在于，所述柔性膜(13)粘接在所述本体(6)上。
5.根据权利要求1-3中任一项所述的承载头，其特征在于，所述柔性膜(13)为橡胶膜。
6.根据权利要求1-3中任一项所述的承载头，其特征在于，还包括：气管(15)，设于所述本体(6)远离所述柔性膜(13)的一端，所述气管(15)的一端与所述通气孔(12)连接，另一端伸出所述本体(6)外，适于与所述气源连接。
7.根据权利要求6所述的承载头，其特征在于，所述气管(15)与所述本体(6)的侧部之间设有密封装置(16)。
8.根据权利要求6所述的承载头，其特征在于，还包括：
压力传感器，设于所述通气孔(12)处，所述压力传感器与所述凹腔一一对应设置；
控制器，与所述压力传感器连接，适于控制所述凹腔内的压力。
9.一种抛光装置，其特征在于，包括如权利要求1-8中任一项所述的承载头。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京烁科精微电子装备有限公司，未经北京烁科精微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010162279.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
