[发明专利]一种钙钛矿微环谐振器阵列、制备方法及其应用

权利要求书

1.一种钙钛矿微环谐振器阵列的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：

（1）、模板的制备；

具体步骤为：利用光刻工艺制备主模板：先将硅片依次用丙酮、乙醇和去离子水超声2min，再利用乙醇脱脂棉擦拭干净并用去离子水冲洗后烘干；然后在上述干净的硅片上旋涂SU8-2025光刻胶并进行前烘；然后，用紫外光通过具有不透光点阵列的掩膜版对上述旋涂的光刻胶SU8-2025进行曝光；最后，将曝光后的样品进行后烘并显影，得到具有微米级凹形结构阵列的硅主模板；

将聚二甲基硅氧烷的预聚物和固化剂均匀混合后离心去气泡,旋涂到硅主模版上并在95 ℃条件下固化，固化完成后即可得到具有凸起微柱结构阵列的聚二甲基硅氧烷模板；

（2）、有机无机杂化钙钛矿MAPbBr₃前驱体溶液的制备；

具体步骤为：将粉末状的MABr和PbBr₂以摩尔比为1:1的比例分别溶解在N,N-二甲基甲酰胺中；然后将这两种溶液均匀混合，并加热搅拌均匀即可得到有机无机杂化钙钛矿MAPbBr₃前驱体溶液；

（3）、制备钙钛矿微环谐振器阵列；

具体步骤为：首先将作为衬底的玻璃片按照步骤（1）中的清洗方法清洗干净，然后将步骤（1）中所制备的具有微柱阵列结构的聚二甲基硅氧烷模板盖在玻璃衬底上，接下来在聚二甲基硅氧烷模板滴加步骤（2）中所制备的有机无机杂化钙钛矿MAPbBr₃前驱体溶液，然后放到热台上加热直至溶剂完全挥发结晶完成，最后将聚二甲基硅氧烷模板揭下来便得到MAPbBr₃微环谐振器阵列；

其中，步骤（2）所述的有机无机杂化钙钛矿MAPbBr₃前驱体溶液的浓度为10-30 wt%，加热搅拌的温度为60摄氏度，时间为8小时。

2.如权利要求1所述的一种钙钛矿微环谐振器阵列的制备方法，其特征在于，步骤（1）所述的硅片尺寸为25×25mm，厚度为1-2mm，旋涂所使用的SU8-2025光刻胶的量为1-5ml，旋涂转速和时间为1500-4000rmp和20-30s，前烘的温度和时间分别为60-85℃和15-30min，后烘时间分别为15-30min；聚二甲基硅氧烷的预聚物和固化剂的重量比为1:1，离心时间为5-15min，旋涂聚二甲基硅氧烷的转速和时间分别为150-450rmp和10-40s，聚二甲基硅氧烷固化温度和时间分别为80-100℃和30-90min；所制备的聚二甲基硅氧烷模板上微柱的直径为5-150μm，高度为1-10μm。

3.如权利要求1所述的一种钙钛矿微环谐振器阵列的制备方法，其特征在于，步骤（3）所述的玻璃衬底尺寸为25×25mm，厚度为100-1000μm；MAPbBr3前驱体溶液的体积为10-30μL，热台的加热温度为60-80℃；加热时间为2-10min。

4.一种钙钛矿微环谐振器阵列，其特征在于，由权利要求1-3任意一项的方法制备得到。

5.如权利要求4所述的一种钙钛矿微环谐振器阵列在激光谐振腔方面的应用。