[发明专利]一种旋转台

权利要求书

1.一种旋转台，包括底座(1)、载台组件(2)和驱动机构(3)，其特征在于，还包括气浮支撑机构(4)和气浮导向机构(5)，所述气浮导向机构(5)包括：

导套组件(51)，所述导套组件(51)安装在所述底座(1)上；

导轴组件(52)，所述导轴组件(52)的一端与所述载台组件(2)相连，所述导轴组件(52)的另一端穿过所述导套组件(51)，并能够通过所述气浮支撑机构(4)的支撑气膜(200)支撑于所述底座(1)上，所述导轴组件(52)与所述导套组件(51)之间能够形成导向气膜(100)，所述驱动机构(3)驱动所述导轴组件(52)相对所述导套组件(51)旋转；

所述气浮支撑机构(4)包括：气浮支撑组件(41)，其设置在所述导轴组件(52)与所述底座(1)之间，并在两者之间形成所述支撑气膜(200)；

所述气浮支撑组件(41)包括：第一气浮垫(412)，所述第一气浮垫(412)设置在所述导轴组件(52)的朝向所述底座(1)的一端，并在所述第一气浮垫(412)的远离所述导轴组件(52)的一侧形成所述支撑气膜(200)，所述第一气浮垫(412)上设置有第一进气口及第一出气口，所述第一进气口与气源相连通，所述第一出气口与所述第一进气口相连通，且所述第一出气口面向所述底座(1)设置，所述第一气浮垫(412)的朝向所述底座(1)的一侧设置有第一槽道，所述第一槽道包括圆形槽道以及设置在所述圆形槽道内的纵横交错直线型槽道，且所述第一槽道与所述第一出气口相连通；

气浮支撑组件(41)还包括第一安装部(411)，将多个所述第一气浮垫(412)相对所述第一安装部(411)的中心均匀布设在所述第一安装部(411)上。

2.根据权利要求1所述的旋转台，其特征在于，所述气浮支撑机构(4)还包括：

预紧组件(42)，所述预紧组件(42)被配置为在所述底座(1)与所述载台组件(2)和/或所述导轴组件(52)之间产生预紧力。

3.根据权利要求1所述的旋转台，其特征在于，所述气浮支撑组件(41)还包括：

固定件，其与所述导轴组件(52)相连，且与所述第一气浮垫(412)球铰接。

4.根据权利要求2所述的旋转台，其特征在于，所述预紧组件(42)为磁预载组件，所述磁预载组件包括第一磁件及第二磁件，所述第一磁件设置在所述底座(1)上，所述第二磁件设置在所述载台组件(2)和/或所述导轴组件(52)上，以在所述底座(1)与所述载台组件(2)和/或所述导轴组件(52)之间产生磁吸力。

5.根据权利要求2所述的旋转台，其特征在于，所述预紧组件(42)为真空预载组件，所述真空预载组件与所述载台组件(2)和/或所述导轴组件(52)相连，且所述真空预载组件与所述底座(1)之间形成真空腔，以在所述底座(1)与所述载台组件(2)和/或所述导轴组件(52)之间产生真空吸力。

6.根据权利要求1-5中任一所述的旋转台，其特征在于，还包括：

辅助气浮支撑组件(6)，其设置在所述载台组件(2)和所述底座(1)之间，并能够与所述载台组件(2)和/或所述底座(1)之间形成辅助支撑气膜(300)，以使所述载台组件(2)支撑于所述底座(1)上。

7.根据权利要求1-5中任一所述的旋转台，其特征在于，所述载台组件(2)包括载台部(21)、载台调整部(22)及载台支撑部(23)，所述载台调整部(22)设置在所述载台部(21)和所述载台支撑部(23)之间，以调节所述载台部(21)的位置、角度及平面度，所述载台支撑部(23)与所述导轴组件(52)相连。

8.根据权利要求1-5中任一所述的旋转台，其特征在于，所述驱动机构(3)包括定子组件和转子组件，所述定子组件和所述转子组件中的一个连接在所述导套组件(51)上，另一个连接在所述载台组件(2)或所述导轴组件(52)上。