[发明专利]用于晶带轴对准的方法和系统

权利要求书

1.一种用于将样品的晶带轴与入射束对准的方法，其包含：

通过以第一角度朝向所述样品引导所述入射束获得所述样品的第一衍射图案；

通过以第二角度朝向所述样品引导所述入射束获得所述样品的第二衍射图案；

基于所述第一衍射图案和所述第二衍射图案确定在所述第一衍射图案中直射束的位置；和

基于所述直射束的所述位置将所述样品的所述晶带轴与所述入射束对准。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述入射束为会聚束。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中基于所述第一衍射图案和所述第二衍射图案确定在所述第一衍射图案中所述直射束的所述位置包括：基于所述第一衍射图案和所述第二衍射图案生成组合衍射图案，和基于所述组合衍射图案确定在所述第一衍射图案中所述直射束的所述位置。

4.根据权利要求1或2所述的方法，其中确定在所述第一衍射图案中所述直射束的所述位置包括确定在所述第一衍射图案中所述直射束的中心和所述直射束的半径。

5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中基于所述直射束的所述位置将所述样品的所述晶带轴与所述入射束对准包括：基于所述直射束的所述位置确定所述样品的所述晶带轴和以所述第一角度朝向所述样品引导的所述入射束之间的晶带轴倾斜，和基于所述晶带轴倾斜将所述样品的所述晶带轴与所述入射束对准。

6.根据权利要求5所述的方法，其中基于所述直射束的所述位置确定所述晶带轴倾斜包括基于所述直射束的所述位置确定在所述第一衍射图案中零阶劳厄带(ZOLZ)的位置，和基于ZOLZ的所述位置确定所述晶带轴倾斜。

7.根据权利要求6所述的方法，其中基于所述直射束的所述位置确定在所述第一衍射图案中ZOLZ的所述位置包括：相对于所述直射束的中心旋转所述第一衍射图案，生成与整合积分区域和旋转的第一衍射图案之间的重叠区域中的像素值相对应的强度曲线，和基于所述强度曲线确定ZOLZ的所述位置。

8.根据权利要求7所述的方法，其另外包含基于所述直射束的半径确定强度积分区域。

9.根据权利要求7或8所述的方法，其中基于所述强度曲线确定ZOLZ的所述位置包括基于所述强度曲线与阈值强度相交的旋转角度确定ZOLZ的位置。

10.一种用于将样品的晶带轴与入射束对准的方法，其包含：

通过调节所述样品和所述入射束之间的入射角获得所述样品的多个衍射图案；

基于所述获得的多个衍射图案确定在所述多个衍射图案中直射束的位置；和

基于所述直射束的所述位置将所述样品的所述晶带轴与所述入射束对准。

11.根据权利要求10所述的方法，其另外包含确定在所述多个衍射图案中的一个中零阶劳厄带(ZOLZ)的半径，和进一步基于所述ZOLZ的所述半径将所述样品的所述晶带轴与所述入射束对准。

12.根据权利要求10或11所述的方法，其中通过样品架倾斜所述样品来调节所述入射角。

13.根据权利要求10至12中任一项所述的方法，其中通过调节所述样品和所述入射束之间的所述入射角获得所述样品的所述多个衍射图案包括通过在预定步骤倾斜所述样品获得三个衍射图案。

14.根据权利要求10至13中任一项所述的方法，其中所述入射束为准直束。

15.根据权利要求10至14中任一项所述的方法，其另外包含在将所述样品的所述晶带轴与所述入射束对准之后，通过在所述样品上方移动所述入射束来扫描所述样品。