[发明专利]压电换能器、制备压电换能器的方法及电子设备

权利要求书

1.一种压电换能器，其特征在于，包括支撑结构以及设置于所述支撑结构上的压电振膜；所述压电振膜包括至少两个相邻的膜片且相邻的两个膜片之间具有缝隙；所述膜片的固定边由所述支撑结构支撑，所述膜片未固定的部分为自由端；所述固定边在所述膜片的外边缘；

其中，对于相邻的两个膜片，沿其中一个膜片的固定边指向所述其中一个膜片的自由端的方向为第一方向，所述其中一个膜片的自由端在所述第一方向上的末端与另一个膜片的固定边的相邻侧边相对设置；所述相邻的两个膜片的固定边不相邻。

2.根据权利要求1所述的压电换能器，其特征在于，相邻的两个膜片的固定边之间形成夹角，所述夹角大于0度且小于180度。

3.根据权利要求2所述的压电换能器，其特征在于，相邻的两个膜片的固定边相互垂直。

4.根据权利要求2所述的压电换能器，其特征在于，所述膜片的数量为四个，四个膜片排成两行两列。

5.根据权利要求1所述的压电换能器，其特征在于，所述支撑结构包括基板以及设置于所述基板上的牺牲层，所述牺牲层与所述压电振膜相邻设置；

其中，所述基板和所述牺牲层上开设有背腔以裸露所述膜片的自由端。

6.根据权利要求5所述的压电换能器，其特征在于，所述背腔的截面为方形，所述膜片为矩形膜片。

7.根据权利要求1所述的压电换能器，其特征在于，各膜片自由端的形状和面积均相同。

8.根据权利要求1所述的压电换能器，其特征在于，所述压电振膜包括依次层叠设置于所述支撑结构上的第一电极层、压电材料层以及第二电极层；所述压电材料层上开设有通孔，以引出所述第一电极层；

其中，所述第二电极层包括第二电极、第二电极引出端以及第一电极引出端；

所述第二电极与所述第二电极引出端电连接；

所述第一电极层包括第一电极，所述第一电极引出端与所述第一电极通过所述压电材料层上的通孔电连接。

9.根据权利要求8所述的压电换能器，其特征在于，所述压电振膜还包括依次层叠设置于所述支撑结构和所述第一电极层之间的柔性薄膜层和/或绝缘层。

10.一种制备压电换能器的方法，其特征在于，所述方法包括：

提供支撑结构；

在所述支撑结构上形成压电振膜；

对所述支撑结构进行刻蚀形成背腔，以裸露部分所述压电振膜；

在与所述背腔相对位置处于所述压电振膜上开设缝隙，以使所述压电振膜包括至少两个相邻的膜片，所述膜片的固定边由所述支撑结构支撑，所述膜片未固定的部分为自由端；所述固定边在所述膜片的外边缘；

其中，对于相邻的两个膜片，沿其中一个膜片的固定边指向所述其中一个膜片的自由端的方向为第一方向，所述其中一个膜片的自由端在所述第一方向上的末端与另一个膜片固定边的相邻侧边相对设置；所述相邻的两个膜片的固定边不相邻。

11.根据权利要求10所述的制备压电换能器的方法，其特征在于，所述在与所述背腔相对位置处于所述压电振膜上开设缝隙的步骤为：

在与所述背腔相对位置处于所述压电振膜上开设卍字形缝隙。

12.一种电子设备，其特征在于，所述电子设备包括如权利要求1至9任一所述的压电换能器。