[发明专利]带电粒子束装置

说明书

一种带电粒子束装置，其中，拍摄器(30)对由试样载台(20)保持的试样保持器(22)进行拍摄。在拍摄器(30)的前方(对象物侧)设置有发光器阵列(32)和掩模阵列(34)。由发光器阵列(32)产生多个光束。多个光束的多个中央部分被掩模阵列(34)遮掩。由此产生的多个阴影被多个光束的多个周边部分覆盖。

技术领域

本发明涉及带电粒子束装置，特别是涉及具备拍摄器(imaging device)的带电粒子束(charged particle beam)装置。

背景技术

作为带电粒子束装置，已知扫描电子显微镜、透射电子显微镜、离子束照射装置等。以下，以扫描电子显微镜为例，说明其构成。

扫描电子显微镜具备保持试样的试样保持器以及对其进行拍摄的拍摄器。通过观察拍摄到的图像能够确认试样的状态，另外，能在该图像上指定进行电子束的扫描的部位。还已知具备将拍摄到的图像与CG(computer graphics；计算机图形)图像进行合成而生成表示试样室(sample chamber)内的试样保持器的状态的参考图像的功能的扫描电子显微镜。

拍摄器由相机、透镜等构成。除了拍摄器，还设置用于将对象物照亮的光源。光源例如由配置在透镜的周围的多个发光器构成(参照特许第6335328号公报的图2)。典型的是，各发光器由LED发光元件构成。

此外，在特开2010-225980号公报的图1中公开了LED灯。在LED灯的透镜部的表面设置有作为遮光部发挥功能的涂装膜。该文献所公开的LED灯是用于交通信号灯的，而不是用于带电粒子束装置。在上述特许第6335328号公报中没有公开包括多个发光器的光源。

发明内容

发明要解决的问题

在带电粒子束装置中，在进行包含试样的对象物的拍摄的情况下，通常设置多个发光器。在各个发光器使用的是产生收窄的光束的发光器的情况下，容易在对象物的表面上产生闪闪发光的反射部分，也就是产生刺眼的高亮度部分。

具体地进行说明。保持试样的保持器通常由金属构成，在其表面会有在其切削过程中产生的许多细条纹也就是加工痕迹(也称为切削刀痕)。各光束的中央部分的照度非常高，可以想到主要是中央部分在加工痕迹处被反射而产生闪闪发光的反射部分。也可以想到由于加工痕迹以外的因素而产生高亮度部分的情况，另外，还可以想到在试样的表面产生高亮度部分的情况。不论是哪一种情况，这种高亮度部分都会妨碍对象物的观察。

本公开的目的在于，在带电粒子束装置中，在由来自多个发光器的多个光束对对象物进行照明的情况下，防止或降低对象物表面上的高亮度部分的产生。或者，本公开的目的在于，在带电粒子束装置中，通过简易的构成使由多个发光器形成的光量分布平坦化。

用于解决问题的方案

实施方式的带电粒子束装置包含：拍摄器，其对包含试样的对象物进行拍摄；多个发光器，其朝向上述对象物照射多个光束；以及光分布调整构件，其具备配置在上述对象物与上述多个发光器之间的多个光限制要素。各上述光束包含中央部分和在上述中央部分的外侧延展的周边部分。各上述光限制要素限制各上述光束的上述中央部分的强度。

根据上述构成，由各发光器产生的光束的中央部分被各光限制要素限制。即，中央部分的光量或照度被减弱或者变为零。从而，得以减轻或者防止对象物表面上的高亮度部分的产生。由于是从多个光源对对象物照射多个光束，因此，即使限制各个光束的一部分光量，也能对整个对象物进行照明。即，根据上述构成，能通过简易的构成使光量分布(或照度分布)平坦化。在上述构成中，光束中受到光限制要素的作用的部分为中央部分，没有受到光限制要素的作用的部分为周边部分。各光限制要素是物理上的存在体，也就是物体。