[发明专利]带电粒子束装置及其光轴调整方法

权利要求书

1.一种带电粒子束装置，其特征在于，具有：

带电粒子源，其释放出照射到样本的带电粒子束；

聚焦透镜系统，其包括至少一个将上述带电粒子束以预定的缩小率聚焦的聚焦透镜；

光圈，其配置在上述聚焦透镜系统与物镜之间；

偏转器，其位于上述聚焦透镜系统中最下游的聚焦透镜与上述带电粒子源之间，使上述聚焦透镜系统的焦点能够向离开上述物镜的光轴的方向移动；以及

控制单元，其控制上述偏转器以及上述聚焦透镜系统，

上述控制单元控制上述偏转器使上述焦点移动到抑制由上述聚焦透镜系统的缩小率的变化引起的、上述聚焦透镜系统的下游的上述带电粒子束的中心轨道的偏移的位置，

上述控制单元以使第一中心轨道与第二中心轨道一致的方式进行上述偏转器的控制，其中，上述第一中心轨道是上述聚焦透镜系统具有第一缩小率时的上述聚焦透镜系统的下游的上述带电粒子束的中心轨道，上述第二中心轨道是上述聚焦透镜系统具有小于上述第一缩小率的第二缩小率时的上述聚焦透镜系统的下游的上述带电粒子束的中心轨道。

2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述控制单元进行偏转器的控制使上述焦点向离开上述物镜的光轴的方向移动以抑制第二中心轨道相对于第一中心轨道的偏移。

3.一种带电粒子束装置，其特征在于，具有：

带电粒子源，其释放出照射到样本的带电粒子束；

聚焦透镜系统，其包括至少一个将上述带电粒子束以预定的缩小率聚焦的聚焦透镜；

调整单元，其调整上述带电粒子束对上述样本的照射条件；

物镜，其将上述带电粒子束聚焦到上述样本；

光圈，其配置在上述聚焦透镜系统与物镜之间；

偏转器，其位于上述聚焦透镜系统中最下游的聚焦透镜与上述带电粒子源之间，使上述聚焦透镜系统的焦点能够向离开上述物镜的光轴方向移动；

检测器，其输出通过上述带电粒子束与物体碰撞而得到的信号；

信号处理单元，其根据上述检测器的信号，收集上述物镜的中心轴与上述聚焦透镜系统的下游的上述带电粒子束的中心轨道的位置关系的信息；

显示器；以及

条件操作单元，其操作上述调整单元以及上述偏转器的动作条件，

上述信号处理单元使上述显示器显示在上述信号处理单元收集到的上述物镜的中心轴与上述带电粒子束的中心轨道的位置关系的信息，

上述信号处理单元在显示器显示用户界面，提示以使第一中心轨道与第二中心轨道一致的方式操作上述条件操作单元来移动上述焦点，其中，上述第一中心轨道是上述聚焦透镜系统具有第一缩小率时的上述聚焦透镜系统的下游的上述带电粒子束的中心轨道，上述第二中心轨道是上述聚焦透镜系统具有小于上述第一缩小率的第二缩小率时的上述聚焦透镜系统的下游的上述带电粒子束的中心轨道。