[发明专利]一种双拼多框石墨舟

说明书

本发明公开的一种双拼多框石墨舟，包括两个多框石墨舟，每一个多框石墨舟的相邻两片石墨舟片末端之间通过一个石墨隔块以及螺栓杆连接；其特征在于，在每一石墨隔块中设置有至少一与该多框石墨舟的相邻两片石墨舟片之间的气流通道连通的气流通孔和一个导电插杆孔，两个多框石墨舟之间相邻的两个石墨隔块通过导电插杆电连接且所述导电插杆插入到每个石墨隔块的导电插杆孔中，两个多框石墨舟上的相邻两个石墨隔块上的气流通道相互连通。本发明两个石墨舟在炉管里的巧妙的配合使用，提升产能，减小膨胀延长累积偏差，降低不良品率。

技术领域

本发明涉及用于制备太阳能光伏PECVD的石墨舟技术领域，特别涉及一种双拼多框石墨舟。

背景技术

目前光伏太阳能板的市场竞争非常激烈，如何降低生产成本、提高生产效率是各个企业都急需要考虑的问题。光伏太阳能板制造时的材料成本属于固定成本，而单位时间产出的光伏太阳能板数量是可以变动的，因此其每片光伏太阳能板的劳动力成本、能源成本和管理成本是可以变动的，因此很对企业就在提高光伏太阳能板的产能上下功夫进行研发。例如如何提高石墨舟的单次装片量上下功夫。

目前石墨舟均是采用若干石墨舟片通过陶瓷圈隔离后再采用螺栓杆连接组成。如果要提高石墨舟的单次装片量，那么就要增加石墨舟的装片框，而增加石墨舟的装片框的数量的同时要考虑到石墨舟的强度和加工性，太多石墨的强度不够同时也造成加工困难。目前市面上出现了一种装片框达到11个的石墨舟，其单次装片量可以达到704片，提高了产能，同时降低了加热炉管的能耗。但是在使用过程中发现：若单个石墨舟片损坏时需要更换新的石墨舟片时，参见图1，发现新的石墨舟片1上用以穿过螺栓杆的孔1a与老的石墨舟片上的用以穿过螺栓杆的孔对不上，造成无法更换。起先以为是每批次石墨舟片钻孔时的所存在加工误差造成的，但是采用特殊的钻孔工装进行控制后，发现这个问题依然无法得到解决，一直困扰着业界，造成石墨舟制造厂家的质量声誉下降。后经过长期研究发现，只有将石墨舟用于PECVD行业才会出现这样的情况，而不是用于PECVD行业就不会存在上述问题。继续研究后发现：PECVD在高温碳化硅气氛环境中使用，因为氮化硅逐步浸渗到石墨材料内部，长期使用后石墨材料膨胀后收缩不回来，装配孔间距发生变化，导致后续装配困难，勉强装配会使不良率升高。

另外这样长的石墨舟在搬运和使用过程也非常不方便。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于针对现有技术所存在的上述问题而提供一种双拼多框石墨舟。

本发明所要解决的技术问题可以通过以下技术方案拉起实现：

一种双拼多框石墨舟，包括两个多框石墨舟，每一个多框石墨舟的相邻两片石墨舟片末端之间通过一个石墨隔块以及螺栓杆连接；其特征在于，在每一石墨隔块中设置有至少一与该多框石墨舟的相邻两片石墨舟片之间的气流通道连通的气流通孔和一个导电插杆孔，两个多框石墨舟之间相邻的两个石墨隔块通过导电插杆电连接且所述导电插杆插入到每个石墨隔块的导电插杆孔中，两个多框石墨舟上的相邻两个石墨隔块上的气流通道相互连通。

在本发明的一个优选实施例中，所述导电插杆孔与所述气流通孔相互平行。

在本发明的一个优选实施例中，在所述导电插杆孔的一端设置有喇叭孔，两个多框石墨舟上的相邻两个石墨隔块上的喇叭孔的大直径端对接。

在本发明的一个优选实施例中，在所述石墨隔块中设置有至少一供所述螺栓杆穿过的螺栓孔；所述螺栓孔的轴线与所述气流通孔的轴线相互垂直。

在本发明的一个优选实施例中，在所述石墨隔块中设置有供所述石墨隔块弹性变形的弹性隔槽，所述弹性隔槽的深度方向与所述气流通孔的轴线相互平行。

在本发明的一个优选实施例中，每个多框石墨舟为5框石墨舟。

由于采用了如上的技术方案，本发明与现有技术相比，具有如下特点：