[发明专利]一种可调式近红外三阵列周期宽波段光吸收增强结构有效
申请号: | 202010171670.5 | 申请日: | 2020-03-12 |
公开(公告)号: | CN111244199B | 公开(公告)日: | 2022-01-21 |
发明(设计)人: | 刘永;杜明 | 申请(专利权)人: | 苏州众为光电有限公司 |
主分类号: | H01L31/0232 | 分类号: | H01L31/0232;H01L31/028 |
代理公司: | 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 11369 | 代理人: | 祁云珊 |
地址: | 215000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 调式 红外 阵列 周期 波段 光吸收 增强 结构 | ||
1.一种可调式近红外三阵列周期宽波段光吸收增强结构,其特征在于,包括从上至下依次层叠设置的石墨烯层(11)、金属微纳阵列层(12)、介质层(13)及基底层(14),其中,所述石墨烯层(11)的上方设有从下至上依次布置的下透明导电层(15)、介质绝缘层(16)以及上透明导电层(17),所述下透明导电层(15)与上透明导电层(17)之间电连接有直流电源(18);所述金属微纳阵列层(12)包括至少一组同层阵列布置的阵列单元,每一组阵列单元包括沿一阵列方向依次间隔设置的第一微纳颗粒列(121)、第二微纳颗粒列(122)及第三微纳颗粒列(123),所述第一微纳颗粒列(121)、第二微纳颗粒列(122)及第三微纳颗粒列(123)中均由若干等距间隔设置的金属微纳颗粒沿着各自的列队方向布置而成;
所述第一微纳颗粒列(121)、第二微纳颗粒列(122)及第三微纳颗粒列(123)的金属微纳颗粒均为圆柱状结构;
假定所述第一微纳颗粒列(121)的金属微纳颗粒的直径为W1,所述第二微纳颗粒列(122)的金属微纳颗粒的直径为W2,所述第三微纳颗粒列(123)的金属微纳颗粒的直径为W3,所述第一微纳颗粒列(121)、第二微纳颗粒列(122)及第三微纳颗粒列(123)的高度为h,则有W1=160nm,W2=140nm,W3=120nm,h=20nm。
2.如权利要求1所述的可调式近红外三阵列周期宽波段光吸收增强结构,其特征在于,构成所述下透明导电层(15)与上透明导电层(17)的材料为铟锡氧化物或掺铟氧化铟中的至少一种;构成所述介质绝缘层(16)的材料为纳米二氧化钛改性绝缘纸。
3.如权利要求1所述的可调式近红外三阵列周期宽波段光吸收增强结构,其特征在于,假定所述第一微纳颗粒列(121)的阵列周期为P1,所述第二微纳颗粒列(122)的阵列周期为P2,所述第三微纳颗粒列(123)的阵列周期为P3,所述第一微纳颗粒列(121)、第二微纳颗粒列(122)及第三微纳颗粒列(123)的总阵列周期为P。
4.如权利要求1所述的可调式近红外三阵列周期宽波段光吸收增强结构,其特征在于,所述基底层(14)由银金属制成。
5.如权利要求1所述的可调式近红外三阵列周期宽波段光吸收增强结构,其特征在于,所述基底层(14)的厚度为100nm。
6.如权利要求1所述的可调式近红外三阵列周期宽波段光吸收增强结构,其特征在于,所述介质层(13)为三氧化二铝。
7.如权利要求1所述的可调式近红外三阵列周期宽波段光吸收增强结构,其特征在于,所述金属微纳阵列层(12)由银金属制成。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州众为光电有限公司,未经苏州众为光电有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010171670.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的