[发明专利]一种基于CVD/CVI双工艺的纤维增强复合材料沉积炉

权利要求书

1.一种基于CVD/CVI双工艺的纤维增强复合材料沉积炉，其特征在于包括下方炉膛、上方炉膛和样品工装，样品工装置于下方炉膛的顶端，下方炉膛的顶部通过样品工装与上方炉膛相连通；所述的下方炉膛和上方炉膛的炉体分别由保温材料、炉膛内胆、加热器和密封法兰组成，加热器置于保温材料与炉膛内胆之间；所述的上方炉膛的一端通过密封法兰设置有原料气进口管路，原料气进口管路上设置有进流量控制阀门，原料气进口管路与沉积炉外的原料气源相连接，上方炉膛的另一端通过密封法兰设置有上方炉膛尾气管路，上方炉膛尾气管路与沉积炉外的真空装置及尾气处理装置相连接，上方炉膛尾气管路上设置有上方炉膛尾气节流阀门；所述的下方炉膛的顶部通过样品工装与上方炉膛相连通，下方炉膛的底部通过密封法兰设置有下方炉膛尾气管路，下方炉膛尾气管路上设有下方炉膛尾气节流阀门，下方炉膛尾气管路与沉积炉外的真空装置及尾气处理装置相连接；所述的样品工装由纤维预制体、石墨夹具及导流板组成，石墨夹具将纤维预制体固定在下方炉膛的中央位置，导流板设置在石墨夹具的上部，导流板上开有导流孔。