[发明专利]一种超快激光无锥度切割系统及切割方法

权利要求书

1.一种超快激光无锥度切割系统，其特征在于，包括：

激光传输组件，用于产生切割用激光束；

光学加工组件，设置在所述激光传输组件输出激光束的光线路径上，用于调节所述激光传输组件输出激光束的角度和旋转方向并照射在待加工工件上；

加工平台，设置在所述光学加工组件输出激光束的光线路径上；

计算机控制模块，与所述激光传输组件、所述光学加工组件以及所述加工平台连接，用于控制所述激光传输组件和所述光学加工组件的开关、输出激光束的工作参数，并控制所述加工平台的动作。

2.根据权利要求1所述的一种超快激光无锥度切割系统，其特征在于，所述激光传输组件包括沿光路传输方向依次布置的飞秒激光器、偏振器、扩束器和光阑。

3.根据权利要求1所述的一种超快激光无锥度切割系统，其特征在于，所述光学加工组件包括沿光路传输方向依次布置的旋转倾斜模块和加工头。

4.根据权利要求2所述的一种超快激光无锥度切割系统，其特征在于，所述飞秒激光器为脉宽小于15ps、波长可调的超快激光器。

5.根据权利要求4所述的一种超快激光无锥度切割系统，其特征在于，所述飞秒激光器的输出波长为1030nm、515nm或355nm中的一种。

6.根据权利要求3所述的一种超快激光无锥度切割系统，其特征在于，所述旋转倾斜模块为四光楔或三光楔组合的光学机构。

7.根据权利要求3所述的一种超快激光无锥度切割系统，其特征在于，所述加工头包含聚焦透镜和同轴吹气喷嘴。

8.根据权利要求1所述的一种超快激光无锥度切割系统，其特征在于，所述的加工平台至少在两个维度自由移动。

9.一种超快激光无锥度切割方法，应用于权利要求1-8任一项所述的超快激光无锥度切割系统中，其特征在于，所述切割方法包括：

激光束首先转化为圆偏振或椭圆偏振光，然后扩大光束直径并减小发散角，再过滤周边杂光；

进行光束的旋转和偏折角度调整，控制切割缝宽和切缝锥度；

加工平台带动其上待加工工件转动，光学加工组件通过加工头将激光束导向输出至待加工工件实现无锥度切割。