[发明专利]一种页岩样品扫描电镜和原子力显微镜原位观察的方法

权利要求书

1.一种页岩样品扫描电镜和原子力显微镜原位观察的方法，其特征在于：包括样品抛光、扫描电镜成像、图像定位和原子力显微镜成像步骤。

2.根据权利要求1所述的一种页岩样品扫描电镜和原子力显微镜原位观察的方法，其特征在于：

步骤(1)样品抛光为根据测试视域的要求，选择适配的平面抛光或截面抛光模式；

步骤(2)扫描电镜成像为对抛光后的样品进行扫描电镜测试，确定目标区域或对象，获取高分辨率的扫描电镜图像；

步骤(3)图像定位为使用测距工具对扫描电镜图像中目标区域或对象的目标方位进行定位测量，并拍照记录确定扫描电镜图像中目标区域或对象的目标平面位置信息；

步骤(4)原子力显微镜成像为对上述页岩样品进行原子力显微镜测试，对照扫描电镜图像中记录的目标平面位置信息，确定目标位置，获取高分辨率的原子力显微镜图像。

3.根据权利要求2所述的一种页岩样品扫描电镜和原子力显微镜原位观察的方法，其特征在于：所采用的抛光模式为截面抛光。

4.根据权利要求2所述的一种页岩样品扫描电镜和原子力显微镜原位观察的方法，其特征在于：扫描电镜条件下，确定目标平面位置信息方法为确定目标区域位置后，寻找目标周围的局部构造和/或不同矿物为标志物，选择标志物数量大于或等于2个，测量目标到标志物的距离并建立二维坐标系，获取目标准确的目标平面位置信息。

5.根据权利要求4所述的一种页岩样品扫描电镜和原子力显微镜原位观察的方法，其特征在于：局部构造包括样品边缘、抛光面边界或微裂缝，不同矿物为黄铁矿。

6.根据权利要求2所述的一种页岩样品扫描电镜和原子力显微镜原位观察的方法，其特征在于：原子力显微镜条件下，确定目标位置方法为通过原子力显微镜配置的光学镜头及上面的CCD探头，在电脑显示器中呈现样品表面放大100倍的图像，图像中心十字丝单侧的长度为100μm，以此为度量单位，通过对照扫描电镜图像下拍摄的目标平面位置信息，移动探针至目标上方。