[发明专利]一种流量稳定的EUV碳污染实验气体供气装置

权利要求书

1.一种流量稳定的EUV碳污染实验气体供气装置，其特征在于，包括污染气体储存罐(1)、外加热层(2)、温度控制器(3)、气体压力传感器(4)、流量计(5)、第一气体连接管路(6)、第二气体连接管路(7)、真空陶封法兰(8)、污染气体发射管和发射管运动装置；

所述污染气体储存罐(1)的外壁设置所述外加热层(2)，所述污染气体储存罐(1)的出气口通过所述第一气体连接管路(6)与所述流量计(5)的进气端连通，所述流量计(5)的出气端与所述第二气体连接管路(7)的一端连接，所述第二气体连接管路(7)的另一端通过所述真空陶封法兰(8)与位于EUV碳污染真空腔(9)内的所述污染气体发射管连通，所述气体压力传感器(4)设置在所述流量计(5)的进气端处，且所述气体压力传感器(4)与所述温度控制器(3)连接；

所述污染气体发射管包括依次连接的金属软管(10)、金属喷射管(11)和喷射头(12)，所述发射管运动装置夹持所述金属喷射管(11)并带动所述喷射头(12)在样品表面周期往复运动；

所述发射管运动装置包括管夹(13)、运动控制器和三个结构相同的运动单元；

每一个所述运动单元包括真空电机(14)、丝杆(15)、底座(16)、导轨(17)和托板(18)，所述真空电机(14)、所述丝杆(15)和所述导轨(17)均安装在所述底座(16)上，且所述真空电机(14)的输出轴与所述丝杆(15)的一端固定连接，所述运动控制器控制所述真空电机(14)转动，所述丝杆(15)带动所述托板(18)沿所述导轨(17)做一维运动，所述托板(18)上设有用于安装紧固的螺钉孔(19)；

三个结构相同的运动单元分别为第一运动单元(20)、第二运动单元(21)和第三运动单元(22)，所述第二运动单元(21)垂直固定安装在所述第一运动单元(20)的托板上，所述第三运动单元(22)固定安装在所述第二运动单元(21)的托板上，且所述第三运动单元(22)分别与所述第一运动单元(20)、所述第二运动单元(21)垂直，用于夹持所述金属喷射管(11)的所述管夹(13)与所述第三运动单元(22)的托板固定连接；

所述温度控制器(3)接收所述气体压力传感器(4)实时反馈的压力数据，并根据所述压力数据控制所述外加热层(2)的加热温度和加热时长，使所述流量计(5)的进气端压强恒定。

2.根据权利要求1所述的流量稳定的EUV碳污染实验气体供气装置，其特征在于，

所述喷射头(12)呈盘状多孔结构。

3.根据权利要求1所述的流量稳定的EUV碳污染实验气体供气装置，其特征在于，

所述外加热层(2)的内部设有均匀分布的加热丝。