[发明专利]颗粒传感器和对此的制造方法

权利要求书

1.颗粒传感器(100)，该颗粒传感器具有用于给流体流(A1)中的颗粒(P)充电的颗粒充电装置(110)，其中，所述颗粒充电装置(110)具有用于产生电晕放电(113)的至少一个电晕电极(112；112’)，其中，所述颗粒传感器(100；100a；100b；100c；100d；100e)具有带着表面(102a)的载体元件(102)，并且，其中，所述至少一个电晕电极(112；112’)构造为平坦的元件并且布置在所述载体元件(102)的所述表面(102a)上。

2.根据权利要求1所述的颗粒传感器(100；100a；100b；100c；100d；100e)，其中，所述至少一个电晕电极(112；112’)沿着所述载体元件(102)的所述表面(102a)的表面法线(102a’)的最大尺寸延展(D)小于所述至少一个电晕电极(112；112’)在相应于所述载体元件(102)的所述表面(102a)的虚拟平面中的最大尺寸延展(L、B)。

3.根据前述权利要求中至少一项所述的颗粒传感器(100；100a；100b；100c；100d；100e)，其中，所述至少一个电晕电极(112；112’)施加到、尤其印刷到、尤其借助于筛网印刷方法印刷到所述载体元件(102)的所述表面(102a)上。

4.根据前述权利要求中至少一项所述的颗粒传感器(100；100a；100b；100c；100d；100e)，其中，所述电晕电极(112；112’)沿着第一坐标轴(x)在所述载体元件(102)的所述表面(102a)中的长度(L)大于、尤其至少十倍地大于所述电晕电极(112；112’)沿着垂直于所述第一坐标轴的第二坐标轴在所述载体元件(102)的所述表面(102a)中的宽度(B)。

5.根据前述权利要求中至少一项所述的颗粒传感器(100；100a；100b；100c；100d；100e)，其中，所述电晕电极(112；112’)或所述电晕电极(112；112’)的至少一个电极尖端(112_1)具有下列元素中的至少一个元素和/或由下列元素中的至少一个元素或下列元素中的多个元素的混合物组成：铂，铂合金，铱，铱合金，类似铂的贵金属，陶瓷材料、尤其是氧化铝、Al₂O₃。

6.根据前述权利要求中至少一项所述的颗粒传感器(100；100a；100b；100c；100d；100e)，其中，所述颗粒传感器(100；100a；100b；100c；100d；100e)具有用于使所述流体流(A1)的带电微粒偏转的至少一个陷阱电极(120)和/或用于感测关于所述流体流(A1)中的带电颗粒(P’)的信息的至少一个传感器电极(130)，其中，所述至少一个陷阱电极(120)和/或所述至少一个传感器电极(130)尤其与所述至少一个电晕电极(112；112’)布置在所述载体元件(102)的同一个表面(102a)上。

7.根据前述权利要求中至少一项所述的颗粒传感器(100；100a；100b；100c；100d；100e)，其中，设置有多个电晕电极(112、112’)，其中，尤其是，第一电晕电极(112)布置在所述载体元件(102)的第一表面(102a)上并且第二电晕电极(112’)布置在所述载体元件(102)的第二表面(102b)上。

8.根据前述权利要求中至少一项所述的颗粒传感器(100；100a；100b；100c；100d；100e)，其中，所述载体元件(102)由陶瓷材料、尤其是薄膜陶瓷组成，其中尤其是，至少一个电极(112、112’、114、120、130)和/或用于所述至少一个电极的至少一个供应导线(112_2)构造为筛网印刷元件，和/或，其中尤其是，用于所述电晕电极(112)的至少一个供应导线(112_2)和/或至少一个区域(EB2)的至少一个钝化部(PAS)构造为筛网印刷元件。