[发明专利]一种微机械音叉陀螺

权利要求书

1.一种微机械音叉陀螺，其特征在于：它包括衬底、在衬底上固定陀螺可动结构的锚点、驱动框架结构、惯性质量块、敏感框架结构、连接驱动框架结构和惯性质量块的弹性梁、连接惯性质量块与敏感框架结构的弹性梁、连接敏感框架结构与锚点结构的弹性梁、连接驱动框架结构与锚点结构的弹性梁、连接驱动框架结构的弹性梁、检测电极单元和驱动电极单元；所述检测电极单元由非可动电极、固定非可动电极的锚点、连接于陀螺可动结构的可动电极组成；所属驱动电极单元由非可动电极、固定非可动电极的锚点、连接于陀螺可动结构的可动电极组成。

2.如权利要求1所述的一种微机械音叉陀螺，其特征在于：所述陀螺的结构分别在陀螺驱动轴方向和检测轴方向上轴对称。

3.如权利要求1所述的一种微机械音叉陀螺，其特征在于：所述固定陀螺可动结构的锚点的中心点布置于陀螺结构的同一条对称轴上。

4.如权利要求1所述的一种微机械音叉陀螺，其特征在于：在结构空间允许的条件下，驱动电极单元和检测电极单元中非可动结构的锚点中心点处于如权利要求3所述的同一对称轴上或最大限度的靠近如权利要求3所述的对称轴。

5.如权利要求1所述的一种微机械音叉陀螺，其特征在于：陀螺驱动框架结构的一条或多条边框采用有镂空的桁架结构。

6.如权利要求1所述的一种微机械音叉陀螺，其特征在于：驱动框架结构和惯性质量块之间、惯性质量块与敏感框架结构之间、敏感框架结构与锚点结构之间、驱动框架结构与锚点结构之间、两个驱动框架结构之间分别采用至少一条单自由度折叠型弹性梁连接。

7.如权利要求1所述的一种微机械音叉陀螺，其特征在于：连接于驱动框架结构的可动电极与固定于衬底上的非可动电极构成一组或多组驱动电极单元。

8.如权利要求1所述的一种微机械音叉陀螺，其特征在于：连接于检测框架结构的可动电极与固定于衬底上的非可动电极构成一组或多组检测电极单元。