[发明专利]一种压紧力可调的集成压电晶片的移动式探头

权利要求书

1.一种压紧力可调的集成压电晶片的移动式探头，其特征在于，该压紧力可调的集成压电晶片的移动式探头包括弓形连接件(1)、压电促动器(2)、球头轴承连接件(3)、夹具外壳(4)、压力传感器(5)、连接螺栓(6)、压电晶片(7)和真空吸附装置(8)；弓形连接件(1)顶端带有螺栓孔处通过螺栓与压电促动器(2)连接，弓形连接件(1)远离顶端螺栓孔的一端设有两个螺栓孔，通过连接螺栓(6)与真空吸附装置(8)连接，连接螺栓(6)与弓形连接件(1)相对位置固定，通过调节连接螺栓(6)在真空吸附装置(8)的滑槽中的位置，来调节压电晶片(7)下表面与真空吸附装置(8)的吸附作用面的相对高度，以适应于不同厚度的压电晶片(7)；球头轴承连接件(3)上端通过螺纹与压电促动器(2)连接，下端通过螺栓与夹具外壳(4)连接；夹具外壳(4)中放置压力传感器(5)与压电晶片(7)，其中压电晶片(7)的上表面与压力传感器(5)的下表面接触。