[发明专利]一种高湿度N2产生器

说明书

本发明公开了一种高湿度N2产生器，包括水腔、气液汇流器、雾化腔、雾气导出器；水腔内安装有进水管，且进水管上安装有液位传感器用于水位低位进水补给警示；气液汇流器的顶部设有雾化帽，雾化帽位于雾化腔内，气液汇流器的底部设有若干与水腔相连通的进液孔和回流孔，气液汇流器的侧面设有溢流口和氮气入口；雾气导出器设有导出管，导出管的上端为湿氮出口，导出管的下端伸入至雾化腔内部，且导出管下端的侧面开设有数个与雾化腔相连通的孔道。本发明设计合理，结构简单，操作方便，可以提供高湿度的氮气，并有效控制氮气湿度，满足使用需要，稳定性高，有效保证装置的稳定度及耐久性，在水腔内的水不够时，能够自动控制进水，在过水时能够自动溢出做警示，具有推广价值。

技术领域

本发明属于加湿装置技术领域，具体涉及一种高湿度N2产生器。

背景技术

微电子行业带颗粒(abrasives)的化学品(研磨液，喷砂液，切割液，抛光液等等)，为免使用中沉降液面时在容器侧边因液体稀薄，同时因为一般防止污染会用氮气做氮封,且氮气一般都是99.99％干燥的；为防沉降液体面在容器表面析出颗粒(abrasives)/研磨砥粒，这些颗粒大部份在10-2000nm范围内，因为Van DerWarr力周边电位改变，会使得这些干燥颗粒聚集，等再落下到液面内时，会形成大颗粒沉积，这会改变这液体本来的颗粒分布，甚至会造成研磨/抛光(lapping,polishing)的刮痕，缺失，及研磨率不均匀。同时，氮气加湿器又必须控制湿度，也不允许氮气湿气沉淀到液体内稀释液体，造成化学品的浓度变化。必须是微细雾状的微粒喷出(1μm内)，RH(相对湿度)要求在95～99％RH高度湿气范围，现有的氮气加湿装置具有局限性，无法满足使用需要。

发明内容

本发明的目的在于提供一种高湿度N2产生器，以解决上述背景技术中所提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供以下技术方案：一种高湿度N2产生器，其结构要点在于：包括：

水腔，水腔内安装有进水管，且进水管上安装有液位传感器；

气液汇流器，气液汇流器设于水腔的上方，且水腔和气液汇流器之间通过螺纹结构可拆卸连接，气液汇流器的顶部设有雾化帽，且雾化帽设有雾化细孔，气液汇流器的底部设有与水腔相连通的回流孔，气液汇流器的侧面设有溢流口和氮气入口；

雾化腔，雾化腔设于气液汇流器上方，且气液汇流器和雾化腔之间通过螺纹结构可拆卸连接，雾化帽位于雾化腔内部；

雾气导出器，雾气导出器设于雾化腔上方，且雾化腔和雾气导出器之间通过螺纹结构可拆卸连接，雾气导出器设有导出管，导出管的上端为湿氮出口，导出管的下端伸入至雾化腔内部，且导出管下端的侧面开设有数个与雾化腔相连通的孔道。

作为优选的，水腔和气液汇流器的连接处设有密封圈。

作为优选的，气液汇流器和雾化腔的连接处设有密封圈。

作为优选的，雾化腔和雾气导出器的连接处设有密封圈。

作为优选的，雾化细孔的内直径为0.5～3.0mm。

与现有技术相比，本发明设计合理，结构简单，操作方便，可以提供高湿度的氮气，并有效控制氮气湿度，满足使用需要，稳定性高，有效保证装置的稳定度及耐久性，在水腔内的水不够时，能够自动控制进水，在过水时能够自动溢出做警示，具有推广价值。

附图说明

图1为本发明的分解结构示意图；

图2为本发明的整体内部结构示意图；

图中：1-水腔，2-进水管，3-液位传感器，4-气液汇流器，5-雾化帽，6-回流孔，7-溢流口，8-氮气入口，9-雾化腔，10-雾气导出器，11-导出管，12-湿氮出口，13-孔道，14-密封圈，15-雾化细孔。