[发明专利]一种平面陶瓷靶材的成型模具及方法

权利要求书

1.一种平面陶瓷靶材的成型模具，其特征在于，包括钢模、柔性模套和柔性板，所述钢模包括上钢盖和下钢盖，上钢盖和下钢盖安装组合形成空腔体，所述柔性模套安装于钢模的两端，且与钢模配合密封，所述柔性板由上橡胶板和下橡胶板组合形成，且置于钢模的空腔体内，上橡胶板、下橡胶板和柔性模套之间形成的腔体为粉末填充腔；所述柔性模套的邵氏硬度为40-90度，所述柔性板的邵氏硬度为20-60度。

2.根据权利要求1所述的平面陶瓷靶材的成型模具，其特征在于，所述柔性模套的邵氏硬度为60-80度。

3.根据权利要求1所述的平面陶瓷靶材的成型模具，其特征在于，所述柔性板的邵氏硬度为30-40度。

4.根据权利要求1所述的平面陶瓷靶材的成型模具，其特征在于，所述柔性板的表面粗糙度小于3.2μm。

5.根据权利要求1所述的平面陶瓷靶材的成型模具，其特征在于，所述钢模的两端均设有凹槽，所述柔性模套安装于凹槽内。

6.根据权利要求1所述的平面陶瓷靶材的成型模具，其特征在于，所述柔性模套的两个端面的加工的平行度＜0.5mm。

7.根据权利要求1所述的平面陶瓷靶材的成型模具，其特征在于，所述柔性板的厚度为5-15mm。

8.根据权利要求1所述的平面陶瓷靶材的成型模具，其特征在于，所述柔性模套和柔性板的材质为硅橡胶或聚氨酯，优选为聚氨酯。

9.一种平面陶瓷靶材的成型方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)将权利要求1-8任一项所述模具中的下钢盖、下橡胶板和柔性模套进行组装，形成粉末填充腔；

(2)将造粒粉填充到组装好的粉末填充腔内，并将其表面刮平；

(3)依次组装上橡胶板及上钢盖；

(4)将组装后的模具连同填充其中的造粒粉置于冷等静压机内压制成型，冷等静压压力为100-300MPa，脱模后得到靶材生坯。

10.根据权利要求9所述的平面陶瓷靶材的成型方法，其特征在于，所述冷等静压压力为200-270Mpa。