[发明专利]一种检漏防护装置在审

专利信息
申请号: 202010182537.X 申请日: 2020-03-16
公开(公告)号: CN111237580A 公开(公告)日: 2020-06-05
发明(设计)人: 俞杰;杨立华;缪敏敏;李炯;储勇;蒋坤 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: F16L55/168 分类号: F16L55/168;F16L58/18;B08B15/02;B08B15/04;G01M3/14
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 曹廷廷
地址: 201315*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 检漏 防护 装置
【说明书】:

发明提供了一种检漏防护装置,所述检漏防护装置包括包裹单元以及连接单元,所述包裹单元包括第一部分以及第二部分,所述第一部分用于包裹一管路的管路接口,所述第二部分用于包裹所述管路的管路本体,所述第一分部与所述第二部分沿所述管路的轴向密封连接,所述包裹单元沿所述管路的周向至少包裹一周;所述包裹单元具有沿轴向贯通的连接缝,所述连接单元沿轴向可开合地设置于所述连接缝处。如此设置,通过包裹单元将管路进行包裹,再通过连接单元与包裹单元密封管路形成密闭的空间,防止在检漏过程中,干泵(Pump)开启后管路内的粉尘喷洒至清洁室(Clean room)中造成环境污染及人员的伤害。

技术领域

本发明涉及机械设计技术领域,特别涉及一种检漏防护装置。

背景技术

管路接口安装完成后,由于不能直接从外表面检查内部O型密封圈(O-ring)是否安装良好,所以需要在其表面喷洒检漏液,然后将干泵(Pump)开启,若发现表面出现连续气泡,则说明管路接口存在微漏,接口需重新安装;若漏点较大时,会出现喷射出管路内粉尘的情况,对晶圆厂洁净室(FAB)环境造成影响,同时也危害工程师健康。

发明内容

本发明的目的在于提供一种检漏防护装置,以解决现有管路接口在检漏中喷射粉尘的问题。

为解决上述技术问题,本发明提供一种检漏防护装置,应用于管路接口的检漏防护,包括包裹单元,包括第一部分以及第二部分,所述第一部分用于包裹一管路的管路接口,所述第二部分用于包裹所述管路的管路本体,所述第一分部与所述第二部分沿所述管路的轴向密封连接,所述包裹单元沿所述管路的周向至少包裹一周;以及连接单元,所述包裹单元具有沿轴向贯通的连接缝,所述连接单元沿轴向可开合地设置于所述连接缝处。

可选的,所述包裹单元采用柔性材料制成。

可选的,所述包裹单元的材质为透明材质。

可选的,所述检漏防护装置的内部涂覆防腐材料。

可选的,所述连接单元包括拆卸式密封拉链。

可选的,所述第一部分与所述第二部分通过焊接方式密封连接。

可选的,所述第一部分的径向内尺寸大于所述第二部分的径向内尺寸。

可选的,所述第二部分抵靠所述管路本体包裹。

可选的,所述包裹单元还包括扎口组件,所述扎口组件与所述第二部分可拆卸的连接,当所述第二部分包裹所述管路本体后,所述扎口组件沿所述管路的周向捆扎固定所述第二部分。

可选的,所述检漏防护装置还包括吸尘单元,所述吸尘单元与所述包裹单元可拆卸地连接,所述吸尘单元用于吸纳所述管路接口处泄露的泄露物。

在本发明提供的一种检漏防护装置中,所述检漏防护装置包括包裹单元以及连接单元,所述包裹单元包括第一部分以及第二部分,所述第一部分用于包裹一管路的管路接口,所述第二部分用于包裹所述管路的管路本体,所述第一分部与所述第二部分沿所述管路的轴向密封连接,所述包裹单元沿所述管路的周向至少包裹一周;所述包裹单元具有沿轴向贯通的连接缝,所述连接单元沿轴向可开合地设置于所述连接缝处。如此设置,通过包裹单元将管路进行包裹,再通过连接单元与包裹单元密封管路形成密闭的空间,防止在检漏过程中,干泵(Pump)开启后管路内的粉尘喷洒至清洁室(Clean room)中造成环境污染及人员的伤害,最大程度的减少了检漏过程中的粉尘泄漏风险,以及最大程度保障了检漏操作人员的人身安全。

附图说明

本领域的普通技术人员将会理解,提供的附图用于更好地理解本发明,而不对本发明的范围构成任何限定。其中:

图1为本发明一实施例提供的检漏防护装置的示意图;

图2为图1所示的检漏防护装置的展开图;

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