[发明专利]一种设置研磨时间上限和研磨时间下限的方法及装置

权利要求书

1.一种设置研磨时间上限和研磨时间下限的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

S101：获取第一预设数量个型号相同的晶圆分别对应的理想研磨时间；

S102：对所述理想研磨时间进行拟合，得到拟合函数；

S103：根据第二预设数量个晶圆研磨后的实际厚度与目标厚度的差值的平均值，计算待补偿研磨量；

S104：将所述待补偿研磨量除以当前的研磨速率，得到待补偿的研磨时间；

S105：判断所述当前的研磨速率是否小于预设的速率，如果所述当前的研磨速率小于预设的速率，且所述待补偿的研磨时间为正值，则将所述待补偿的研磨时间乘以第一安全系数，得到补偿时间；如果所述当前的研磨速率小于预设的速率，且所述待补偿的研磨时间为负值，则将所述待补偿的研磨时间乘以第二安全系数，得到补偿时间；如果所述当前的研磨速率大于预设的速率，且所述待补偿的研磨时间为负值，则将所述待补偿的研磨时间乘以第三安全系数，得到补偿时间；如果所述当前的研磨速率大于预设的速率，且所述待补偿的研磨时间为正值，则将所述待补偿的研磨时间乘以第四安全系数，得到补偿时间；

S106：根据所述理想研磨时间对应的理想研磨时间区域，将所述拟合函数加上第一阈值和所述补偿时间作为所述研磨时间上限；将所述拟合函数减去第二阈值，再加上所述补偿时间作为所述研磨时间下限，以使所述理想研磨时间区域的预设比例分布在所述研磨时间上限和所述研磨时间下限之间。

2.根据权利要求1所述的一种设置研磨时间上限和研磨时间下限的方法，其特征在于，所述第二预设数量个晶圆包括n天生产的晶圆，所述n≥3，所述待补偿的研磨时间的函数表达式为T(F)＝0.382*i+0.236*j+0.382*k，其中，i为昨天的晶圆对应的待补偿的研磨时间，j为前天的晶圆对应的待补偿的研磨时间，k为前天之前的晶圆对应的待补偿的研磨时间。

3.一种设置研磨时间上限和研磨时间下限的装置，其特征在于，所述装置包括以下模块：

获取模块，用于获取第一预设数量个型号相同的晶圆分别对应的理想研磨时间；

拟合模块，用于对所述理想研磨时间进行拟合，得到拟合函数；

第一计算模块，用于根据第二预设数量个晶圆研磨后的实际厚度与目标厚度的差值的平均值，计算待补偿研磨量；

第二计算模块，用于将所述待补偿研磨量除以当前的研磨速率，得到待补偿的研磨时间；

判断模块，用于判断所述当前的研磨速率是否小于预设的速率，如果所述当前的研磨速率小于预设的速率，且所述待补偿的研磨时间为正值，则将所述待补偿的研磨时间乘以第一安全系数，得到补偿时间；如果所述当前的研磨速率小于预设的速率，且所述待补偿的研磨时间为负值，则将所述待补偿的研磨时间乘以第二安全系数，得到补偿时间；如果所述当前的研磨速率大于预设的速率，且所述待补偿的研磨时间为负值，则将所述待补偿的研磨时间乘以第三安全系数，得到补偿时间；如果所述当前的研磨速率大于预设的速率，且所述待补偿的研磨时间为正值，则将所述待补偿的研磨时间乘以第四安全系数，得到补偿时间；

设置模块，用于根据所述理想研磨时间对应的理想研磨时间区域，将所述拟合函数加上第一阈值和所述补偿时间作为所述研磨时间上限；将所述拟合函数减去第二阈值，再加上所述补偿时间作为所述研磨时间下限。