[发明专利]蒸镀装置

权利要求书

1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：

坩埚(1)，所述坩埚(1)的内部具有多个用于收容蒸镀材料的收容槽(11)，相邻两个所述收容槽(11)之间设置有加热槽(3)，所述加热槽(3)设置于所述坩埚(1)的外部，所述收容槽(11)的外表面和所述加热槽(3)均设置有加热件(4)；

盖板(2)，所述盖板(2)盖设于所述坩埚(1)上，所述盖板(2)设置有多个用于喷出蒸镀材料的蒸发口部(211)。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述坩埚(1)的内部还设置有扩散腔(12)，所述扩散腔(12)设置于所述收容槽(11)和所述盖板(2)之间。

3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述坩埚(1)的内部还设置有分隔板(13)，所述分隔板(13)设置于所述收容槽(11)和所述扩散腔(12)之间，所述分隔板(13)均匀地设置有多个用于连通所述收容槽(11)和所述扩散腔(12)的第一通孔(131)。

4.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述坩埚(1)的内部设置有多个隔层部(14)，所述坩埚(1)的底壁(15)设置有多个第二通孔(151)，所述隔层部(14)设置于所述第二通孔(151)的两侧，以在所述坩埚(1)的内部形成多个所述收容槽(11)和在所述坩埚(1)的外部形成多个所述加热槽(3)；

相邻两个所述收容槽(11)之间设置有所述隔层部(14)，所述加热槽(3)形成于所述隔层部(14)的内部。

5.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述加热槽(3)设置有用于固定所述加热件(4)的安装部(31)。

6.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述收容槽(11)沿水平方向(X)的截面积由下至上逐渐增大。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的蒸镀装置，其特征在于，所述坩埚(1)的顶部沿水平方向(X)的截面为长方形，所述盖板(2)沿水平方向(X)的截面为长方形；

所述盖板(2)设置有多个与所述坩埚(1)的长度方向(L)平行设置的线源(21)，每个所述线源(21)设置有多个所述蒸发口部(211)，每个线源(21)的所述蒸发口部(211)沿所述坩埚(1)的长度方向(L)成锯齿状排列。

8.根据权利要求7中任一项所述的蒸镀装置，其特征在于，多个所述线源(21)之间相邻的所述蒸发口部(211)沿所述坩埚(1)的宽度方向(W)成锯齿状排列。