[发明专利]基板传送装置

权利要求书

1.一种基板传送装置，其特征在于，包括：

第一传送部，从第一工序生产线以水平状态传送基板；

第二传送部，从配置在低于所述第一工序生产线的高度处的第二工序生产线以倾斜状态传送基板；以及

竖直传送部，将基板从所述第一工序生产线竖直传送到所述第二工序生产线侧或者从所述第二工序生产线竖直传送到所述第一工序生产线侧，

所述竖直传送部包括：

运送器单元，从所述第一传送部或所述第二传送部运入基板，或者向所述第一传送部或所述第二传送部侧运出基板；

升降单元，包括第一移动块和第二移动块，所述第一移动块支撑所述运送器单元的一端，所述第二移动块支撑所述运送器单元的另一端，在所述第一传送部和所述第二传送部的基板运入生产线和基板运出生产线之间的区域，竖直传送所述运送器单元；以及

倾斜转换单元，在通过所述升降单元竖直传送所述运送器单元的过程中，使与所述升降单元连接的所述运送器单元的两侧中的一侧从所述升降单元分离，将水平状态的所述运送器单元转换为倾斜状态，

所述倾斜转换单元包括：铰链连接部，将所述第一移动块和所述运送器单元的一端可旋转地连接；水平支承部，结合到所述第二移动块，以水平状态支撑所述运送器单元的另一端；以及倾斜支承部，通过与通过所述升降单元竖直传送的所述运送器单元接触，使所述运送器单元的另一端从所述水平支承部分离，使所述运送器单元以所述铰链连接部为中心进行旋转。

2.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述竖直传送部包括：

第一竖直传送部，使基板从所述第一工序生产线竖直下降到所述第二工序生产线侧；以及

第二竖直传送部，使基板从所述第二工序生产线竖直上升到所述第一工序生产线侧。

3.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述运送器单元包括：

基座部件；

传送部件，在上部安置基板，并结合到可旋转地设置在所述基座部件上的旋转轴；以及

运送器驱动部，设置在所述基座部件上，使所述旋转轴旋转。

4.根据权利要求3所述的基板传送装置，其特征在于，所述运送器单元还包括止动部件，所述止动部件设置在所述基座部件上，与向所述运送器单元侧传送的基板接触从而决定基板的位置。

5.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述升降单元还包括：

竖直框架；以及

竖直传送驱动部，与沿所述竖直框架可移动地设置的所述移动块结合，沿所述竖直框架竖直移动所述移动块。

6.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，在所述水平支承部和所述运送器单元的相对的接触部分中的任一部分处设置有凹入形成的定位槽部，在剩余的其他部分处设置有与所述定位槽部相对应地突出形成的定位突出部。

7.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，在所述水平支承部和所述运送器单元的相对的接触部分处配备有用于使所述水平支承部和所述运送器单元的接触力增强的磁性体。

8.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，在所述水平支承部或所述运送器单元的相对的接触部分处配备有用于防止所述水平支承部和所述运送器单元接触时的冲击的防冲击部件。

9.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，在所述运送器单元的下部配备有接触支撑在所述倾斜支承部上的倾斜支撑部，并且，在所述倾斜支撑部上设置有使所述运送器单元在被倾斜调节的状态下保持水平的倾斜支撑面。

10.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述倾斜支承部包括：

倾斜支承用支撑框架；

倾斜支承用支撑块，与所述倾斜支承用支撑框架的上端部结合；以及

倾斜支承用支撑辊，可旋转地结合到所述倾斜支承用支撑块的上端部，与所述运送器单元的下端部接触。

11.根据权利要求10所述的基板传送装置，其特征在于，所述倾斜支承用支撑块包括：

第一倾斜支承用支撑块，与所述倾斜支承用支撑框架结合；以及

第二倾斜支承用支撑块，与所述倾斜支承用支撑辊结合，

所述倾斜支承用支撑块还包括高度调节用紧固机构，所述高度调节用紧固机构连接所述第一倾斜支承用支撑块和所述第二倾斜支承用支撑块，以使所述倾斜支承用支撑块的高度可变。