[发明专利]阀门组件和抽真空装置

说明书

本发明提供了一种阀门组件和一种抽真空装置，阀门组件包括：伸缩装置；基座，与伸缩装置的伸缩端可移动相连接；连杆机构，连杆机构的第一连接端与伸缩端相连接，连杆机构的第二连接端与基座相连接；密封部，与连杆机构的第三连接端相连接；其中，在伸缩装置的伸缩过程中，相对伸缩端运动的基座通过连杆机构带动密封部运动。该结构简单、有效简化了生产和装配环节，降低了生产成本。并且该阀门组件适用于重载场合，多个阀门组件配合使用可以提升重量和体积较大的密封部移动以封堵面积较大的开口，从而使该阀门组件更加适用于工业产品，进而实现优化阀门组件结构，提升阀门组件的密封性和可靠性，提升产品竞争力的技术效果。

技术领域

本发明涉及阀门技术领域，具体而言，涉及一种阀门组件和一种抽真空装置。

背景技术

真空设备，尤其太阳能电池片PCEVD(Plasma Enhanced Chemical VaporDeposition，等离子体增强化学的气象沉积法)设备中，真空腔体，需要通过门阀不断和其他真空腔体连通、隔断，或者和大气连通、隔断。门阀的密封性能和动作时间,都直接影响着整体设备的性能和产能，并且传统真空门阀由于结构复杂，成本相对较高。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

为此，本发明的第一方面提出一种阀门组件。

本发明的第二方面提出了一种抽真空装置。

有鉴于此，本发明的第一方面提供了一种阀门组件，阀门组件包括：伸缩装置；基座，与伸缩装置的伸缩端可移动相连接；连杆机构，连杆机构的第一连接端与伸缩端相连接，连杆机构的第二连接端与基座相连接；密封部，与连杆机构的第三连接端相连接；其中，在伸缩装置的伸缩过程中，相对伸缩端运动的基座通过连杆机构带动密封部运动。

在该技术方案中，限定了一种阀门组件，阀门组件包括伸缩装置、基座、连杆机构和密封部。伸缩装置的伸缩端在工作过程中伸长或缩短，以驱动阀门组件工作。基座和连杆机构共同组成阀门组件的传动机构，基座与伸缩装置的伸缩端相可移动连接。连杆机构上设置有至少三个连接端，第一连接端与伸缩装置上的伸缩端相连接，第二连接端与基座转动相连，第三连接端与密封部转动相连接。工作过程中，伸缩装置的伸缩端带动连杆机构和基座运动，基座相对伸缩装置运动的过程中通过第二连接端拉动连杆机构一同动作，动作中的连杆机构带动密封部运动至目标封堵位置以实现阀门组件的封堵功能。从而构成了由伸缩装置提供动力，由基座和伸缩装置之间的相对运动趋势拉动连杆机构运作的传动结构，从而通过运作的连杆将密封部移动至需要密封的结构的开口处。该结构简单、有效简化了生产和装配环节，降低了生产成本。并且该阀门组件适用于重载场合，多个阀门组件配合使用可以提升重量和体积较大的密封部移动以封堵面积较大的开口，从而使该阀门组件更加适用于工业产品，进而实现优化阀门组件结构，提升阀门组件的密封性和可靠性，简化阀门组件结构，降低生产难度和装配难度，削减生产成本，提升产品竞争力的技术效果。

另外，本发明提供的上述技术方案中的阀门组件还可以具有如下附加技术特征：

在上述技术方案中，优选地，阀门组件还包括：壳体，基座，连杆机构和密封部设置于壳体内，壳体上设置有阀孔；其中，基座与壳体接触后相对伸缩端运动，以通过连杆机构带动密封部封堵阀孔；基座脱离壳体后相对伸缩端运动，以通过连杆机构带动密封部远离阀孔。