[发明专利]一种用于ECR离子源的高压隔离波导

权利要求书

1.一种用于ECR离子源的高压隔离波导，其特征在于，包括高压绝缘块、地端波导、高压端波导和阻抗匹配塞块；

所述高压绝缘块为环形管状结构，所述高压绝缘块内纵向插设有圆形绝缘薄片，所述圆形绝缘薄片的一侧通过第一圆形法兰连接所述地端波导的一侧，所述地端波导的另一侧用于连接离子源微波系统；所述第一圆形法兰内还间隔开设有两个环形微波扼流槽；

所述圆形绝缘薄片的另一侧通过第二圆形法兰连接所述高压端波导的一侧，所述高压端波导的另一侧用于连接离子源源体，所述高压端波导内还设置有用于匹配所述高压绝缘块波导阻抗突变的所述阻抗匹配塞块，所述阻抗匹配塞块的厚度为1/4微波波长，所述阻抗匹配塞块的横截面尺寸与所述高压端波导的内部截面尺寸相同，所述阻抗匹配塞块的材料与所述高压绝缘块的材料相同。

2.如权利要求1所述的一种用于ECR离子源的高压隔离波导，其特征在于，所述第一圆形法兰的厚度大于预设的微波波长，所述环形微波扼流槽的深度为该预设的微波波长。

3.如权利要求2所述的一种用于ECR离子源的高压隔离波导，其特征在于，所述预设的微波波长为1/4离子源微波系统发出的微波波长。

4.如权利要求1所述的一种用于ECR离子源的高压隔离波导，其特征在于，所述高压绝缘块的外侧间隔开设有两个厚度为厘米级的U型环状凹槽。

5.如权利要求1至4任一项所述的一种用于ECR离子源的高压隔离波导，其特征在于，所述第一圆形法兰与所述第二圆形法兰的尺寸相同。

6.如权利要求1至4任一项所述的一种用于ECR离子源的高压隔离波导，其特征在于，所述圆形绝缘薄片的厚度为毫米级。

7.如权利要求1至4任一项所述的一种用于ECR离子源的高压隔离波导，其特征在于，两所述环形微波扼流槽的宽度均为毫米级。