[发明专利]一种具有惯性延时功能的双稳态MEMS安保装置

权利要求书

1.一种具有惯性延时功能的双稳态MEMS安保装置，整体呈叠层结构，其特征在于：从顶至底依次为盖板层(100)、隔断层(200)以及起爆层(300)，相邻层通过金-金键合的方式实现连接；隔断层(200)通过胶结键合的方式与Y型光纤(400)连接，隔断层(200)和Y型光纤(400)位于同一平面，Y型光纤(400)用于实现隔断层(200)内部状态的监测；

所述的隔断层(200)由隔断模块(III)、延时模块(II)以及双稳态控制模块(I)组成，在隔断层(200)正反两面的四周设有厚度为1～3um的隔断金键合区(210)，在隔断层(200)的一边设有光纤孔(209)，隔断模块(III)中的隔断模块轴线(230)与光纤孔轴线(229)共线；

所述的隔断模块(III)包括滑动隔板(211)，在滑动隔板(211)的中心设有含能药腔(213)，含能药腔(213)中填充有含能药剂(228)，在滑动隔板(211)的内侧长边设有隔板齿条(231)，外侧长边设有隔板滚珠孔(212)，在隔板滚珠孔(212)中填充有滚珠(204)；

所述的延时模块(II)包括相互啮合的大齿轮(203)与小齿轮(206)，小齿轮(206)的齿槽间和平面扭簧(205)中的扭簧摆动端(232)配合，在小齿轮(206)的中心设有4个小齿轮滚珠孔(208)，小齿轮滚珠孔(208)与小齿轮轴(207)所组成的空间中填充滚珠(204)；

大齿轮(203)与隔断模块(III)中的隔板齿条(231)相互啮合，大齿轮(203)的中心设有4个大齿轮滚珠孔(202)，大齿轮滚珠孔(202)与大齿轮轴(201)所组成的空间中填充滚珠(204)，大齿轮(203)的下方齿槽和双稳态控制模块(I)中的控制锁(215)配合；

所述的双稳态控制模块(I)包括呈轴对称布局的左控制模块(I1)与右控制模块(I2)，左控制模块(I1)与右控制模块(I2)通过连接臂(218)相连，连接臂(218)中点通过T型梁(217)与双稳态模块(I3)中的匚型槽(216)连接；左控制模块(I1)与右控制模块(I2)内部结构相同；

所述的左控制模块(I1)包括左冷臂(223)，左冷臂(223)两侧分别设有左下热臂(224)、左上热臂(222)，左下热臂(224)、左上热臂(222)以及左冷臂(223)的顶端连接，左下热臂(224)、左上热臂(222)以及左冷臂(223)的末端分别与左下电极(221)、左上电极(219)以及左地电极(220)连接；

所述的双稳态模块(I3)包括双稳态梁(214)，双稳态梁(214)的两端分别与左锚点(233)以及右锚点(234)相连，双稳态梁(214)的中点设有控制锁(215)以及匚型槽(216)结构。

2.根据权利要求1所述的一种具有惯性延时功能的双稳态MEMS安保装置，其特征在于：所述的盖板层(100)包括盖板衬底(101)，盖板衬底(101)中心附近设有传爆孔(102)，盖板衬底(101)的长边设有控制电极窗(104)与起爆电极窗(103)，盖板衬底(101)上表面的四周设有厚度为1～3um的盖板金键合区(105)。

3.根据权利要求1所述的一种具有惯性延时功能的双稳态MEMS安保装置，其特征在于：所述的起爆层(300)包括起爆器衬底(301)，在起爆器衬底(301)上设有半导体桥(302)，半导体桥(302)的两端分别与左起爆电极(304)以及右起爆电极(303)连接，半导体桥(302)、左起爆电极(304)以及右起爆电极(303)外侧的起爆器衬底(301)的上表面设有厚度为1～3um的起爆金键合区(305)。