[发明专利]一种适用于磁控溅射镀膜的立式装片架

说明书

本发明公开一种适用于磁控溅射镀膜的立式装片架，其包括主框架和至少两组横杆组件；主框架包括至少两根相互平行的竖杆和至少两根相互平行的横杆，各横杆两端分别固连两竖杆；各横杆组件包括平行于主框架横杆的装片横杆，装片横杆两端分别可拆卸连接主框架的两根横杆；装片横杆上沿其长度方向至少设有一装片卡槽。相邻装片横杆的卡槽之间可形成装片卡位，掩膜板或样品的一个对端分别卡入两相邻装片横杆的卡槽之间，即实现装片。装片横杆可拆卸连接主框架横杆，使得装片横杆的高度位置可调，从而可适应不同高度尺寸的掩膜板或样品的装夹镀膜膜，提高镀膜效率。

技术领域

本发明涉及溅射镀膜设备配件技术领域，特别是一种适用于磁控溅射镀膜的立式装片架。

背景技术

现有大型镀膜设备的装片架一般采用固定杆形式，无法适应不同尺寸的掩膜板或样品，使得镀膜工序较为繁琐，镀膜工作效率难以提升，产品镀膜后的效果也不尽人意。

发明内容

本发明的目的是提供一种适用于磁控溅射镀膜的立式装片架，其装片空间可调，能够适应不同尺寸掩膜板或样品的镀膜，提高镀膜效率。

本发明采取的技术方案为：一种适用于磁控溅射镀膜的立式装片架，包括主框架和至少两组横杆组件；

主框架包括至少两根相互平行的竖杆和至少两根相互平行的横杆，各横杆两端分别固连两竖杆；

各横杆组件包括平行于主框架横杆的装片横杆，装片横杆两端分别可拆卸连接主框架的两根横杆；装片横杆上沿其长度方向至少设有一装片卡槽。

本发明中，相邻装片横杆的卡槽之间可形成装片卡位，掩膜板或样品的一个对端分别卡入两相邻装片横杆的卡槽之间，即实现装片。装片横杆可拆卸连接主框架横杆，使得装片横杆的高度位置可调，从而可适应不同高度尺寸的掩膜板或样品的装夹镀膜。

进一步的，本发明的立式装片架还包括定位杆，定位杆平行于主框架竖杆，且两端连接主框架横杆，中部贯穿各装片横杆。定位杆可对主框架结构以及各装片横杆的水平位置进行定位，使得装夹稳定可靠。

可选的，定位杆固定安装于主框架的垂直中心位置；各装片横杆的长度方向中部设有与定位杆松配的贯通孔。松配的设置可使得装片横杆在进行高度调节时可直接升降，简化操作。

可选的，定位杆为螺纹杆，其两端螺纹连接主框架横杆，并通过螺帽定位；各装片横杆贯通孔两侧的定位杆上分别设有定位螺帽。定位螺帽能够对装片横杆起到进一步定位的作用，避免装片横杆两端固定不紧导致的脱落。

可选的，本发明的立式装片架中，主框架的其中一个横杆的两端分别固连两竖杆顶端，该横杆背离主框架的一侧顶部设有U型槽。在主框架顶部设置U型槽可实现历史装片架的位移导向。

进一步的，本发明的立式装片架还包括固连主框架的导向座，导向座上设有开口背离主框架的U型槽，使得主框架的横杆能够通过U型槽在相配合的导轨中滑动，从而可带动装片架移动，实现装片架的位移导向。

可选的，所述导向座数量为两个，主框架的两横杆的两端分别固连两竖杆的顶端和底端，两导向座分别固定于主框架的两横杆上。导向座可配合镀膜设备与相适配的导轨进行安装，以适应镀膜位置为准。

可选的，所述导向座数量为1个，与主框架顶部横杆相适配；主框架底部还设有配重块，配重块可拆卸固定于主框架上。在顶部导向座的限位导向作用下，底部配重块可随其它动力驱动装置如皮带等实现移位，配重块的设置可使得主框架整体不易歪斜。配重块可通过螺钉固定于主框架下端，如两竖杆下端部。

可选的，装片横杆的上表面和下表面分别设置一卡槽。也可仅在其一面上设置一卡槽。