[发明专利]形状测定装置及形状测定方法在审
| 申请号： | 202010190997.7 | 申请日： | 2020-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN111702604A | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 高娜;宫武勤 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | B24B19/00 | 分类号： | B24B19/00;B24B47/12;B24B47/20;B24B49/02;B24B49/12;B24B51/00;G01B11/02;G01B11/24;G01B11/30 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 形状 测定 装置 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种形状测定装置，其使沿扫描方向排列设置的三个测头沿所述扫描方向进行扫描从而测量测定对象物的表面形状，所述形状测定装置的特征在于，
所述三个测头被绝热材料或绝热部件包围在内。
2.根据权利要求1所述的形状测定装置，其特征在于，
使用所述三个测头并利用三点法来测量测定对象物的表面形状。
3.根据权利要求1或2所述的形状测定装置，其特征在于，
还具备一体地支承所述三个测头的夹具，
所述三个测头及所述夹具一同被所述绝热材料或所述绝热部件包围在内。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的形状测定装置，其特征在于，
由一个所述绝热部件包覆所述三个测头。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的形状测定装置，其特征在于，
还具备扫描机构，所述扫描机构使所述三个测头相对于所述测定对象物沿所述扫描方向相对移动。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的形状测定装置，其特征在于，
所述三个测头均设置成，其光源经由光传导部件而隔离在所述绝热材料或所述绝热部件的外部。
7.一种形状测定方法，其为使沿扫描方向排列设置的三个测头沿所述扫描方向进行扫描从而测量测定对象物的表面形状的方法，所述形状测定方法的特征在于，
在所述三个测头被绝热材料或绝热部件包围在内的状态下进行测量。
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