[发明专利]一种择优取向的钽靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种择优取向的钽靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)将钽锭依次进行酸洗、退火热处理和冷却，得到预处理后的钽锭；所述钽锭为圆柱形钽锭；

(2)将预处理后的钽锭进行扭转变形，所述扭转变形具体为将钽锭两端进行反向旋转或差速旋转，或将钽锭一端固定不动，另一端进行旋转；所述扭转变形的扭转角度大于等于180°；

(3)将扭转变形后的钽锭依次进行退火热处理和冷却；

(4)重复步骤(2)～(3)2～3次，得到择优取向钽靶材坯体；

(5)将所述择优取向钽靶材坯体两端切除，将剩余部分切割成片状，得到择优取向的钽靶材。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述钽锭的长度和直径的比值不小于2；所述钽锭的杂质总含量不高于5wt％。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述酸洗用酸包括氢氟酸、硫酸和硝酸中的一种或几种。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中退火热处理的温度为800～1300℃，保温时间为30～360min；所述步骤(1)中冷却的方式为随炉冷却。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述扭转变形在扭转装置中进行，所述扭转装置包括机床和安装在机床上的第一夹持端和第二夹持端，所述第一夹持端和第二夹持端能够将钽锭的两端固定，并能在机床带动下进行转动。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)中退火热处理的温度为800～1300℃，保温时间为30～360min；所述步骤(3)中冷却的方式为随炉冷却。

7.权利要求1～6任意一项所述制备方法制备得到的择优取向的钽靶材，其特征在于，所述钽靶材中占优的织构为(111)和(100)。