[发明专利]一种真空蒸镀设备

权利要求书

1.一种真空蒸镀设备，包括壳体，壳体上设置真空腔体底座和真空腔体罩，真空腔体底座和真空腔体罩围成真空腔体，真空腔体座上设置有安装架，安装架上设置有供蒸镀件安装的蒸镀台，真空腔体座上还设置有蒸镀坩埚和对蒸镀坩埚加热的加热结构，真空腔体座上于蒸镀坩埚与蒸镀台之间设置有能够转动的遮挡板，其特征在于：所述真空腔体座上设置有转轴，遮挡板包括上下贴合设置的上挡板和下挡板，各挡板均转动安装于转轴上且各挡板与转轴之间依靠摩擦力能够随转轴同步转动，安装架上设置有与各挡板限位挡止配合的限位结构，上、下挡板具有转动后相互配合对蒸镀坩埚进行遮挡的遮挡位，上、下挡板还具有反向转动后避开下方蒸镀坩埚的让开位。

2.根据权利要求1所述的真空蒸镀设备，其特征在于：所述限位结构包括设置于安装架上的限位挡板，下挡板上设有其位于遮挡位时与限位挡板限位挡止配合的第一凸起，下挡板上还设置有其位于让开位时与限位挡板限位挡止配合的第二凸起，上挡板上设有其位于遮挡位时与限位挡板限位挡止配合的第三凸起，上挡板上还设置有其位于让开位时与限位挡板限位挡止配合的第四凸起。

3.根据权利要求1或2所述的真空蒸镀设备，其特征在于：所述蒸镀台转动安装于安装架上，转轴上设置有第一齿轮，蒸镀台上设置有与第一齿轮啮合传动的第二齿轮以带动蒸镀台转动。

4.根据权利要求3所述的真空蒸镀设备，其特征在于：所述安装架上设置有安装孔，安装架上沿安装孔的孔沿周向间隔设置有三个以上的限位轮，蒸镀台包括与限位轮的外周面滚动配合的转动配合柱，第二齿轮设置于转动配合柱上。

5.根据权利要求3所述的真空蒸镀设备，其特征在于：所述转轴上同轴线传动安装有传动件，传动件具有供各挡板转动安装的安装段和形成上述第一齿轮的齿轮段。

6.根据权利要求1所述的真空蒸镀设备，其特征在于：所述安装架包括竖向支架和横向支架，蒸镀台设置于横向支架上，横向支架通过上下调节结构安装于竖向支架上。

7.根据权利要求6所述的真空蒸镀设备，其特征在于：所述上下调节结构包括设置于竖向支架上的导向柱，横向支架上设置有与导向柱上下导向移动配合的导向孔，横向支架上设置有当其调节至设定高度时对其固定的固定螺钉。