[发明专利]一种用于在高温下抗氧化的Cr/CrN/CrAlN梯度涂层及制备方法有效
| 申请号： | 202010194388.9 | 申请日： | 2020-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN111471969B | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 杨文晟;郭汉杰;陈胜吉 | 申请（专利权）人： | 北京科技大学;明志科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/02;C23C14/14;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京市广友专利事务所有限责任公司 11237 | 代理人： | 张仲波 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 高温 氧化 cr crn craln 梯度 涂层 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于耐热钢的高温下抗氧化的Cr/CrN/CrAlN梯度涂层；其特征在于，所述涂层底层为Cr，中间层为CrN，外层为CrAlN；Cr底层厚度范围为0.2-1μm，CrN中间层厚度为0.2-1μm，CrAlN工作层厚度为0.2-1μm；所述耐热钢为9-12％Cr耐热钢。
2.一种制备权利要求1所述的用于耐热钢的高温下抗氧化的Cr/CrN/CrAlN梯度涂层的方法，其特征在于，采用Al靶、Cr靶在氮气和氩气混合气氛中双靶共溅的方式制备Cr/CrN/CrAlN梯度涂层，工作压力为5-10mtorr，基体的温度为150-200℃，施加基体负偏压以提高涂层和基体的粘附性能；Cr底层厚度范围为0.2-1μm，CrN中间层厚度为0.2-1μm，CrAlN工作层厚度为0.2-1μm；所述耐热钢为9-12％Cr耐热钢。
3.根据权利要求2所述的Cr/CrN/CrAlN梯度涂层的制备方法，其特征在于，所述Cr靶重量纯度≥99.9％，功率范围为40-100W；Al靶重量纯度≥99.9％，功率范围为0-100W。
4.根据权利要求2所述的Cr/CrN/CrAlN梯度涂层的制备方法，其特征在于，所施加的基体负偏压范围为100-150V。
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