[发明专利]一种确定柔性基底金属薄膜断裂应变的方法有效

专利信息
申请号: 202010194407.8 申请日: 2020-03-19
公开(公告)号: CN111351702B 公开(公告)日: 2021-10-15
发明(设计)人: 罗雪梅;吴绪苹;张广平;宋竹满 申请(专利权)人: 中国科学院金属研究所
主分类号: G01N3/06 分类号: G01N3/06;G01N3/08
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 于晓波
地址: 110016 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 确定 柔性 基底 金属 薄膜 断裂 应变 方法
【权利要求书】:

1.一种确定柔性基底金属薄膜断裂应变的方法,其特征在于:该方法包括如下步骤:

(1)将柔性基底的金属薄膜制备成拉伸试样;

(2)对步骤(1)制备的拉伸试样进行拉伸试验,测量金属薄膜在拉伸过程中的电阻值,获得薄膜拉伸的相对电阻变化-应变曲线,即实验曲线;

(3)采用公式ΔR/R0=(1+ε)m-1对实验曲线上在应变较小时的实验数据点进行拟合,所得拟合曲线称之为理论曲线;所述拟合过程具体为:选取任意m值初步绘制公式ΔR/R0=(1+ε)m-1所对应的曲线,调整m值使所绘制的曲线与步骤(2)所得实验曲线在应变较小时基本吻合;然后选取实验曲线上与所绘制曲线基本吻合的实验数据点,进一步使用公式ΔR/R0=(1+ε)m-1对这些数据点进行精确拟合,获得理论曲线;所述公式ΔR/R0=(1+ε)m-1中,m为拟合参数,ΔR/R0为相对电阻变化,ε为应变;

(4)将实验曲线偏离理论曲线5%时所对应的应变确定为薄膜的断裂应变。

2.按照权利要求1所述的确定柔性基底金属薄膜断裂应变的方法,其特征在于:步骤(1)中,拉伸试样的制备过程为:首先在柔性基底上制备金属薄膜,随后将带有金属薄膜的柔性基底裁剪成矩形拉伸试样。

3.按照权利要求1所述的确定柔性基底金属薄膜断裂应变的方法,其特征在于:步骤(2)中,用导电胶带将电阻测量导线固定在拉伸试样的夹持端,使用四线法原位测量薄膜的电阻,并获得相对电阻变化-应变曲线。

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