[发明专利]放电灯及其制造方法

说明书

提供放电灯及其制造方法。提供一种具有热耐久性优异的密封结构的放电灯。在放电灯(10)的密封管(20)中，贯穿插入有电极支承棒(22A)，将金属箔(36)在外周面连接的内侧金属环(26)组装到安装部件(18A)中。内侧金属环(26)由圆盘部(26B)和从其周缘逐渐扩展地延伸的延伸部(26C)构成，形成为碗状。

技术领域

本发明涉及一种放电灯，尤其是涉及一种配置有电极安装部件的密封管的密封结构。

背景技术

在大型的短弧型放电灯(例如1kW以上)中，为了提高半导体、液晶制造的生产效率，正在推进大功率化。随着大功率化，电极也大型化了，因此配置有安装部件的密封管也随之大型化。

在这种放电灯的安装部件中，使金属环相对于被筒状玻璃管保持的电极支承棒固定，使多个带状金属箔焊接于金属环外周面。由此，经由金属箔、金属环、电极支承棒将电力供给到发光管内的电极。

在灯点亮过程中，由于金属部件与密封管的热膨胀量之差，在金属环附近、带状金属箔附近容易在密封管产生裂纹。为了防止这种情况，例如，将带状金属箔的厚度定为特有的厚度，以满足规定的条件式(参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献1：日本特许第6371275号公报

发明内容

为了曝光对象物的大型化以及吞吐量的提高，要求放电灯的进一步的高输出，此外，为了实现精密的曝光，在灯点亮时流过的电流为高电流，密封管受到比起更大的热影响。在这种放电灯中，难以仅通过调整金属箔的厚度抑制裂纹的产生。

因此，针对放电灯，要求提供热耐久性优异的密封管的密封结构。

本发明的放电灯具有：电极支承棒，其支承发光管内的电极，配设在与发光管一体地连接的密封管内；玻璃管，电极支承棒贯穿插入于该玻璃管，该玻璃管与密封管焊接；以及金属部件，其将沿着电极轴配设的金属箔与电极支承棒电连接。例如，密封管可以由双重密封管等的多个密封管构成。

并且，金属部件具有圆盘部、以及从圆盘部的周缘的至少一部分向发光管侧延伸的延伸部，延伸部相对于电极轴向远离电极支承棒的方向延伸。在此，只要延伸部的至少一部分向远离电极轴的方向延伸即可，从圆盘部的周缘延伸的方向能够构成为相对于电极轴倾斜的方向，此外，也可以构成为从周缘呈直状地延伸并在端部倾斜。

延伸部整体可以在相同的方向上延伸，或者也可以在端部侧改变角度地延伸。例如，延伸部能够构成为形成圆锥面，并且，也可以形成圆锥面和圆柱面，设置端部侧与电极轴平行地延伸的直线部。延伸部可以相对于电极轴在0°＜θ≤15°范围内倾斜。

延伸部的端部可以构成为与玻璃管对置，使得不会对密封管产生热膨胀的影响。例如，玻璃管在与金属部件对置的端部设置台阶部分，能够使延伸部的端部与台阶部分相对。可以在延伸部的周围的至少一部分(尤其是与玻璃管对置的延伸部端面侧)，形成接受延伸部的热膨胀的间隙。

在设置覆盖金属箔以及金属部件的箔部件的情况下，由于通过箔部件覆盖延伸部，因此箔部件的玻璃管侧端部可以位于相比延伸部的端部更靠玻璃管侧的位置。能够设置圆板箔，该圆板箔配置在玻璃管与金属部件之间，具有与金属部件对应的形状。

本发明的其它方面的放电灯具有：电极支承棒，其支承发光管内的电极，配设在与发光管一体地连接的密封管内；玻璃管，电极支承棒贯穿插入于该玻璃管，该玻璃管与密封管焊接；以及金属部件，其将沿着电极轴配设的金属箔与电极支承棒电连接，金属部件具有圆盘部、以及从圆盘部的周缘的至少一部分向发光管侧延伸的延伸部，延伸部沿着电极轴从周缘延伸，其端部与玻璃管对置。

本发明的其它方面的金属部件被密封在放电灯的密封管内，与设置在密封管内的电极支承棒同轴地配置，金属部件具有：圆盘部；以及延伸部，其设置有从圆盘部的周缘向至少一个圆盘部侧面方向逐渐扩展地延伸的倾斜部，以形成圆锥面。