[发明专利]制热-冷冻-声波联用硅块破碎装置和方法在审
申请号: | 202010196602.4 | 申请日: | 2020-03-19 |
公开(公告)号: | CN111468260A | 公开(公告)日: | 2020-07-31 |
发明(设计)人: | 张天雨;魏富增;田新;李嘉佩;闫家强;孙志东 | 申请(专利权)人: | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 |
主分类号: | B02C19/18 | 分类号: | B02C19/18;B02C21/00 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 肖阳 |
地址: | 221004 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 制热 冷冻 声波 联用 破碎 装置 方法 | ||
1.一种硅块破碎装置,其特征在于,包括:
传动装置;
加热区、缓冲区、冷冻区和声波区,所述加热区、缓冲区、冷冻区和声波区沿所述传动装置的长度方向依次布置,所述加热区内设有加热设备和进料口,所述冷冻区内设有冷冻设备,所述声波区内设有声波发生设备和出料口。
2.根据权利要求1所述的硅块破碎装置,其特征在于,进一步包括:
第一隔离门,所述第一隔离门设在所述加热区和所述缓冲区之间;
第二隔离门,所述第二隔离门设在所述缓冲区和所述冷冻区之间;
第三隔离门,所述第三隔离门设在所述冷冻区和所述声波区之间。
3.根据权利要求1所述的硅块破碎装置,其特征在于,进一步包括:
速度控制模块,所述速度控制模块与所述传动装置相连,且被配置为控制所述传动装置使物料在所述加热区的停留时间为2~4h,在所述冷冻区的停留时间为15~30min。
4.根据权利要求1所述的硅块破碎装置,其特征在于,进一步包括:
第一温度控制模块,所述第一温度控制模块与所述加热设备相连,且被配置为控制所述加热设备使所述加热区的温度为600~700℃;
第二温度控制模块,所述第二温度控制模块与所述冷冻设备相连,且被配置为控制所述冷冻设备使所述冷冻区的温度为0~30℃。
5.根据权利要求1所述的硅块破碎装置,其特征在于,进一步包括:
功率控制模块,所述功率控制模块与所述声波发生设备相连,且被配置为控制所述声波发生设备的功率为5000~8000W。
6.根据权利要求1所述的硅块破碎装置,其特征在于,所述声波发生设备具有环绕式排列的振子。
7.一种硅块破碎方法,其特征在于,所述硅块破碎方法采用权利要求1~6任一项所述的硅块破碎装置实施,所述硅块破碎方法包括:
将硅块依次进行热处理和冷处理,得到高脆度硅块;
将所述高脆度硅块进行声波处理,得到硅块碎料。
8.根据权利要求7所述的硅块破碎方法,其特征在于,所述热处理在600~700℃下进行2~4h完成;所述冷处理在0~30℃下进行15~30min完成。
9.根据权利要求7所述的硅块破碎方法,其特征在于,所述声波处理在5000~8000W声波功率下进行。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏鑫华半导体材料科技有限公司,未经江苏鑫华半导体材料科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010196602.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。