[发明专利]一种摇晶机在审

专利信息
申请号: 202010199761.X 申请日: 2020-03-20
公开(公告)号: CN111243995A 公开(公告)日: 2020-06-05
发明(设计)人: 吴习山;沈向辉 申请(专利权)人: 太仓市晨启电子精密机械有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 苏州瑞光知识产权代理事务所(普通合伙) 32359 代理人: 罗磊
地址: 215435 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 摇晶机
【权利要求书】:

1.一种摇晶机,其特征在于,包括:

机架(1),所述机架(1)上安装有基板(11),所述基板(11)上安装有至少一个所述摇装机构(2),所述摇装机构(2)包括平面摆动单元(21)和升降摆动单元(22);

平面摆动单元(21),其包括第一驱动部件(211)和平面摆动平台(212),所述平面摆动平台(21)滑动连接在所述基板(11)上,所述平面摆动平台(21)的顶部两端分别设置有支架(3),所述支架(3)上转动连接有安装板(4),所述安装板(4)用于安装治具,所述第一驱动部件(211)设置在所述机架(1)内,且第一驱动部件(211)位于所述基板(11)的下方,所述第一驱动部件(211)驱动所述平面摆动平台(21)移动;

升降摆动单元(22),其设置在所述平面摆动单元(21)的一端,所述升降摆动单元(22)包括第二驱动部件(221)、升降丝杆副(222)和升降臂(223),所述升降丝杆副(222)的一端传动连接于所述第二驱动部件(221),所述升降丝杆副(222)的另一端连接于所述升降臂(223),所述升降臂(223)滑动连接在所述安装板(4)的底部,所述第二驱动部件(221)通过所述升降丝杆副(222)带动所述升降臂(223)驱动所述安装板(4)上下运动。

2.根据权利要求1所述的一种摇晶机,其特征在于,所述平面摆动平台(212)包括第一平台(2121)和第二平台(2122),所述第一平台(2121)横向滑动连接在所述基板(11)上,所述第二平台(2122)纵向滑动连接在所述第一平台(2121)上。

3.根据权利要求2所述的一种摇晶机,其特征在于,所述基板(11)上固定连接有第一滑轨(111),所述第一滑轨(111)上滑动连接有第一滑块(1112),所述第一平台(2121)固定连接在所述第一滑块(1112)上。

4.根据权利要求2所述的一种摇晶机,其特征在于,所述第一平台(2121)上固定连接有第二滑轨(6),所述第二滑轨(6)上滑动连接有第二滑块(61),所述第二平台(2122)固定连接在所述第二滑块(61)上。

5.根据权利要求1所述的一种摇晶机,其特征在于,所述第一驱动部件(211)上连接有旋转连接轴节(7),所述旋转连接轴节(7)位于所述基板(11)下方,所述旋转连接轴节(7)上连接有偏心轮(71)。

6.根据权利要求5所述的一种摇晶机,其特征在于,所述偏心轮(71)固定连接在所述第二平台(2122)上。

7.根据权利要求1所述的一种摇晶机,其特征在于,所述支架(3)上设置有升降支承(31),所述升降支承(31)转动连接在所述安装板(4)上。

8.根据权利要求1所述的一种摇晶机,其特征在于,所述安装板(4)底部固定或可拆卸连接有第三滑块(41),所述第三滑块(41)的两侧分别设置有滑槽(411)。

9.根据权利要求8所述的一种摇晶机,其特征在于,所述滑槽(411)内滑动连接有滚子(8),所述滚子(8)固定连接在所述升降臂(223)上。

10.根据权利要求1所述的一种摇晶机,其特征在于,所述第一驱动部件(211)为旋转马达,所述第二驱动部件(221)为升降马达。

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