[发明专利]一种基于化学气相沉积法的纳米材料打印方法

权利要求书

1.一种基于化学气相沉积法的纳米材料打印方法，其特征在于：包括以下步骤，

S1，加热喷头；

S2，惰性气体和还原气体分别通过喷头喷射催化剂衬底；

S3，驱动装置驱动喷头相对催化剂衬底进行三维移动，惰性气体、还原气体和反应气体分别通过喷头喷射催化剂衬底；

其中，喷头由内至外依次包括陶瓷气体喷管、石墨加热件、热电偶、隔热层和壳体，热电偶与石墨加热件紧密贴合，热电偶连接于温度控制器，温度控制器与加热电源连接，惰性气体、还原气体和反应气体分别通过陶瓷气体喷管喷射在催化剂衬底上；

S1包括以下步骤，以20～100℃/min的升温速度将喷头快速加热至设定温度值的60～85％，然后以2～10℃/min的升温速度继续将喷头加热至设定温度值；

S1前还包括步骤S1c，将喷头的陶瓷气体喷管和套接于陶瓷气体喷管外的石墨加热件之间设置为间隙配合；

S1前还包括步骤S1d，在喷头的石墨加热件与套接于石墨加热件外的隔热层之间填充惰性气体。

2.按照权利要求1所述的一种基于化学气相沉积法的纳米材料打印方法，其特征在于：S1之前还包括步骤S1a，将喷头和催化剂衬底置于密封箱体内，为密封箱体抽真空，使密封箱体内产生负压。

3.按照权利要求2所述的一种基于化学气相沉积法的纳米材料打印方法，其特征在于：S1前还包括步骤S1b，将喷头的喷口与催化剂衬底之间距离设置为0.01～2mm。

4.按照权利要求1所述的一种基于化学气相沉积法的纳米材料打印方法，其特征在于：S2包括以下步骤，纯度为99.5～99.99％的惰性气体通过喷头以100～10000sccm的流速喷射于催化剂衬底，喷射持续时间为0.05～0.5h。

5.按照权利要求1所述的一种基于化学气相沉积法的纳米材料打印方法，其特征在于：S2包括以下步骤，纯度为99～99.99％的还原气体通过喷头以5～500sccm的流速喷射于催化剂衬底，喷射持续时间为0.01～0.3h。

6.按照权利要求1所述的一种基于化学气相沉积法的纳米材料打印方法，其特征在于：S3包括以下步骤，利用气体流量控制器控制惰性气体、还原气体和反应气体通过喷头的流量比例，其中，反应气体与还原气体流量之比为0.02～2000，反应气体与惰性气体流量之比为0.001～1000。

7.按照权利要求1所述的一种基于化学气相沉积法的纳米材料打印方法，其特征在于：S3包括以下步骤，驱动装置驱动喷头沿X轴方向和或Z轴方向移动，驱动装置驱动催化剂衬底沿Y轴方向移动。