[发明专利]一种基于化学气相沉积法的纳米材料打印机

权利要求书

1.一种基于化学气相沉积法的纳米材料打印机，其特征在于：包括催化剂衬底、喷头和驱动装置，喷头设有加热装置，喷头一端通入有反应气体、还原气体和惰性气体，喷头另一端与催化剂衬底对应设置，驱动装置设于喷头一侧，驱动喷头和催化剂衬底相对三维移动；

喷头设有陶瓷气体喷管，陶瓷气体喷管一端连接反应气体、还原气体和惰性气体，陶瓷气体喷管另一端对准催化剂衬底，加热装置包括石墨加热件和加热电源，石墨加热件套接于陶瓷气体喷管外，石墨加热件连接加热电源；

陶瓷气体喷管为圆管形，圆管壁厚0.5~1.5mm，管长60~200mm，圆管内径0.1~1mm。

2.按照权利要求1所述的一种基于化学气相沉积法的纳米材料打印机，其特征在于：陶瓷气体喷管和石墨加热件间隙配合。

3.按照权利要求1所述的一种基于化学气相沉积法的纳米材料打印机，其特征在于：石墨加热件外套接有隔热层，石墨加热件与隔热层之间充有惰性气体。

4.按照权利要求1所述的一种基于化学气相沉积法的纳米材料打印机，其特征在于：石墨加热件上紧密贴合有热电偶，热电偶连接有温度控制器，温度控制器与加热电源连接。

5.按照权利要求1所述的一种基于化学气相沉积法的纳米材料打印机，其特征在于：还包括气体流量控制器；气体流量控制器一端连接于陶瓷气体喷管一端，气体流量控制器另一端分别连接有惰性气体气源、反应气体气源和还原气体气源。

6.按照权利要求1所述的一种基于化学气相沉积法的纳米材料打印机，其特征在于：喷头另一端与催化剂衬底之间距离为0.01~2mm。

7.按照权利要求1所述的一种基于化学气相沉积法的纳米材料打印机，其特征在于：喷头一侧设有底座，驱动装置包括X轴移动模块、Y轴移动模块和Z轴移动模块，Y轴移动模块和X轴移动模块分别固接于底座，Z轴移动模块在X轴移动模块上沿Z轴方向滑动，喷头在Z轴移动模块上沿X轴方向滑动，催化剂衬底在Y轴移动模块上沿Y轴方向滑动。

8.按照权利要求7所述的一种基于化学气相沉积法的纳米材料打印机，其特征在于：Y轴移动模块固接有基板，基板与喷头另一端对应设置，催化剂衬底设于基板上。

9.按照权利要求1-8任一项所述的一种基于化学气相沉积法的纳米材料打印机，其特征在于：还包括气体保护箱，气体保护箱设有密封内腔，喷头、催化剂衬底和驱动装置均设于密封内腔内。