[发明专利]一种抗腐蚀性玻璃及其制备方法

权利要求书

1.一种抗腐蚀性玻璃，其特征在于，包括玻璃基体和设置在所述玻璃基体表面的耐腐蚀膜层；所述玻璃基体包括玻璃和设置于所述玻璃表面的功能膜层；所述耐腐蚀膜层的厚度为10~2000nm；所述耐腐蚀膜层为包括钛、铝、铬和镍中的至少两种元素的合金，当所述耐腐蚀膜层为钛铝铬镍合金时，所述钛、铝、铬和镍元素的摩尔比为(60~75):(12~20):(8~15):(0.1~0.8)；当所述耐腐蚀膜层为钛铬合金时，所述钛和铬元素的摩尔比为(6~8):(2~4)；当所述耐腐蚀膜层为钛铝合金时，所述钛和铝元素的摩尔比为(4~7):(3~6)。

2.根据权利要求1所述的抗腐蚀性玻璃，其特征在于，所述玻璃基体为透明玻璃或彩色玻璃。

3.权利要求1~2任一项所述抗腐蚀性玻璃的制备方法，包括以下步骤：

采用磁控溅射在玻璃基体表面镀耐腐蚀膜层，得到抗腐蚀性玻璃；溅射靶材为包括钛、铝、铬和镍中的至少两种元素的合金。

4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述溅射靶材的溅射功率为10~600W。

5.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述磁控溅射的气压为0.1~1Pa。

6.根据权利要求3或5所述的制备方法，其特征在于，所述磁控溅射在氩气气氛中进行，所述氩气的流量为40~300sccm。