[发明专利]基于飞行时间质谱仪的气体成分测量方法有效

专利信息
申请号: 202010203612.6 申请日: 2020-03-20
公开(公告)号: CN111446148B 公开(公告)日: 2023-02-21
发明(设计)人: 敖小强;魏文 申请(专利权)人: 北京雪迪龙科技股份有限公司
主分类号: H01J49/00 分类号: H01J49/00;H01J49/40;G01N27/64
代理公司: 北京律和信知识产权代理事务所(普通合伙) 11446 代理人: 张羽;武玉琴
地址: 102206 北京市昌*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 基于 飞行 时间 质谱仪 气体 成分 测量方法
【权利要求书】:

1.一种基于飞行时间质谱仪的气体成分测量方法,包括:

获取帧样本谱图;

对所述帧样本谱图进行修正得到修正帧样本谱图;

根据所述修正帧样本谱图,确定待测气体内至少一种预设成分的浓度;

所述获取帧样本谱图包括:

采集至少一组扫描数据,所述扫描数据为利用飞行时间质谱仪对待测气体进行检测的得到的一组数据,所述扫描数据包括:至少一个质量数和所述至少一个质量数对应的离子丰度;

根据所述至少一组扫描数据确定帧样本谱图;

所述方法还包括:确定帧内累加次数,其中所述至少一组扫描数据包含扫描数据的组的数量为所述帧内累加次数,其中,所述确定帧内累加次数包括:根据所述预设成分所需要的检测限、所述预设成分的响应系数及质量轴偏移速率确定帧内累加次数;

所述对所述帧样本谱图进行修正得到修正帧样本谱图,包括:

质量轴修正和/或降噪处理,得到修正帧样本谱图;

所述根据所述修正帧样本谱图,确定待测气体内至少一种预设成分的浓度,包括:

确定所述修正帧样本谱图中的至少一个波峰;

根据所述至少一个波峰的波峰面积、波峰峰值和波峰宽度中的至少一项确定待测气体内至少一种预设成分的浓度。

2.根据权利要求1所述的方法,其中,所述质量轴修正包括:

根据所述预设成分确定质量修正模板,其中所述质量修正模板包括至少一个有效质量数,所述有效质量数包括至少一种预设成分所包含的离子的质量数;

根据所述质量修正模板和所述帧样本谱图确定质量轴伸缩比;

根据所述质量轴伸缩比修正所述帧样本谱图,得到质量轴修正后的帧样本谱图。

3.根据权利要求2所述的方法,其中,所述根据所述质量修正模板和所述帧样本谱图确定质量轴伸缩比,包括:

根据所述质量修正模板和所述帧样本谱图中预设波峰的质量数确定质量轴伸缩比。

4.根据权利要求3所述的方法,其中,所述根据所述质量修正模板和所述帧样本谱图中预设波峰的质量数确定质量轴伸缩比,包括:

A选择所述质量修正模板中的一个有效质量数;

B把预设波峰的质量数和所述有效质量数的比值作为所述质量轴伸缩比;

所述根据所述质量轴伸缩比修正所述帧样本谱图,得到质量轴修正后的帧样本谱图,包括:

C所述帧样本谱图中的每一个质量数用所述每一个质量数乘以所述质量轴伸缩比得到的数值替换;

D判断所述质量轴修正后的帧样本谱图中每一个波峰的质量数与所述质量修正模板中的所述有效质量数是否匹配,如果判断结果为否则重新执行步骤B-C,如果判断结果为是则退出;

如果所述质量修正模板中的任意一个有效质量数作为参考质量数并执行步骤B-D后,判断结果均为否,则放弃所述帧样本谱图。

5.根据权利要求4所述的方法,其中,在所述选择所述质量修正模板中的一个有效质量数之前,还包括:

确定所述质量修正模板中至少一个有效质量数与所述预设波峰的质量数的差异,根据所述差异由小至大对所述至少一个有效质量数进行排序;

所述选择所述质量修正模板中的一个有效质量数,包括:

根据所述排序依次选择所述质量修正模板中的有效质量数。

6.根据权利要求2所述的方法,还包括:把所述质量轴修正后的帧样本谱图作为修正帧样本谱图。

7.根据权利要求2所述的方法,其中,所述降噪处理包括:

如果预设的质量数对应的离子丰度小于第一阈值,则把所述预设的质量数对应的离子丰度修正为零。

8.根据权利要求2所述的方法,其中,所述降噪处理包括:

最快上升速率修正和/或最快下降速率修正。

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