[发明专利]一种微型近红外探测器的制作方法及微型近红外探测器有效
| 申请号： | 202010203827.8 | 申请日： | 2020-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN111442849B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 王艳艳;郭全全;庞慰;段学欣 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01J5/10 | 分类号： | G01J5/10 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 潘俊达 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 微型 红外探测器 制作方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种微型近红外探测器的制作方法，其特征在于，包括：
准备以固体装配型薄膜体声波压电谐振器为基础的传感器；
通过主动捕获的方式，在所述传感器的表面均匀形成金纳米棒的近红外吸收层；
所述主动捕获的方式包括将所述金纳米棒滴加到所述传感器表面的微小腔体中，将所述谐振器与预设信号源相连接，通过所述谐振器表面的震动，从溶液中捕获所述金纳米棒到所述传感器表面；
将氮化铝生长在固体装配型谐振器顶电极表面；
所述谐振器设置有氮化铝压电层和布拉格反射层。
2.如权利要求1所述的一种微型近红外探测器的制作方法，其特征在于：所述传感器与所述金纳米棒的长径比相对应。
3.如权利要求1或2所述的一种微型近红外探测器的制作方法，其特征在于：所述传感器采用矩阵式排列。
4.一种微型近红外探测器，由权利要求1～3任一项的所述制作方法制备而成，其特征在于：包括传感器及设置于所述传感器的薄膜体声波谐振器，所述谐振器顶电极表面形成有氮化铝，所述传感器的表面均匀修饰有金纳米棒。
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