[发明专利]测试系统和测试头在审
| 申请号： | 202010205723.0 | 申请日： | 2020-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN111766491A | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 泷田伸幸 | 申请（专利权）人： | 新东工业株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 杨黎峰;姜香丹 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 测试 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于进行半导体器件的动态特性试验的测试系统，其特征在于，所述测试系统包括：
集成控制器；
测量电路，其包括作为电流传感器或电压传感器的一个或多个传感器；
驱动器，其对包括在所述测量电路中的开关进行控制；
AD转换器，其将从所述传感器输出的模拟信号转换成数字信号；
截止控制器，其参照所述数字信号生成截止信号；以及
动态特性控制器，其参照从所述集成控制器获取的操作命令和从所述截止控制器获取的截止信号，对所述驱动器进行控制，
其中，至少所述测量电路和所述AD转换器被内置于测试头内。
2.根据权利要求1所述的测试系统，其特征在于，
除了所述测量电路和所述AD转换器之外，所述驱动器、所述截止控制器、以及所述动态特性控制器也被内置于所述测试头内。
3.根据权利要求2所述的测试系统，其特征在于，
所述AD转换器和所述截止控制器被安装在内置于所述测试头的数字化板上，所述动态特性控制器被安装在内置于所述测试头中并且与所述数字化板连接的夹层卡上。
4.一种被包括在用于进行半导体器件的动态特性试验的测试系统中的测试头，其特征在于，所述测试头内置有：
测量电路，其包括作为电流传感器或电压传感器的一个或多个传感器，以及
AD转换器，其将从所述传感器输出的模拟信号转换成数字信号。
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