[发明专利]一种基于介质柱结构的多波长消色差超表面偏振测量器件

权利要求书

1.一种基于介质柱结构的多波长消色差超表面偏振测量器件，其特征在于：包括至下而上的一层介质衬底和介质柱结构，其中上层介质柱结构由变宽度和变旋转角度纳米柱结构构成。

2.根据权利要求1所述的一种基于介质柱结构的多波长消色差超表面偏振测量器件，其特征在于：所述介质衬底的厚度为t，其取值范围为t10λ₀，介质柱结构的厚度为h，其取值范围为hλ₀，λ₀＝883nm为中心波长。

3.根据权利要求1所述的一种基于介质柱结构的多波长消色差超表面偏振测量器件，其特征在于：所述纳米柱结构的横向周期为Px等于纵向周期为Py，其取值范围为Pyλ₀，λ₀为中心波长。

4.根据权利要求1所述的一种基于介质柱结构的多波长消色差超表面偏振测量器件，其特征在于：所述介质柱结构中长度跨度为l₁，其取值范围为Px/5l₁Px，介质柱宽度为w₁，其变化范围为Py/5w₁Py。

5.根据权利要求1所述的一种基于介质柱结构的多波长消色差超表面偏振测量器件，其特征在于：所述介质柱结构中的按一定规则排列在介质衬底上。

6.根据权利要求1所述的一种基于介质柱结构的多波长消色差超表面偏振测量器件，其特征在于：所述介质柱结构与介质衬底所用材料是适用于工作波长(811nm，883nm，1072nm)的低损耗介质材料。

7.根据权利要求1所述的一种基于介质柱结构的多波长消色差超表面偏振测量器件，其特征在于：所述介质柱结构与介质衬底可用材料为二氧化硅、硅、蓝宝石、砷化镓。